超高真空ユニットの特性と分類

- Dec 13, 2018-

超高真空ユニットの特性と分類

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10 -5 pa以上で作動する超高真空ユニットには、拡散ポンプ、分子ポンプ超高真空ユニット、オイルフリー超高真空ユニットがあります。 ユニットには以下の特徴があります。

 

1.メインポンプの高い到達真空度、10 -7〜10 -8 pa以上。

焼く 200〜450 ℃の 高温に耐えることができます

メインポンプ内の逆流ガスの分圧が非常に低い。

メインポンプのポンピングガス選択性のために、十分に大きな補助ポンプを装備すること。

材料排出量の真空チャンバー、パイプ、バルブ、およびその他のコンポーネントの要件は非常に低く、漏れ率は非常に小さいです。

(1)拡散ポンプ超高真空ユニット

究極の真空ユニットの優先ポンプとしての拡散ポンプ、超高真空度は10-7〜10-8Paです。

ガス拡散のレベルの前に拡散ポンプから減少させ、最終的な真空に機械ポンプ油の抗拡散効果をブロックするが、拡散ポンプレベルタイプの前に拡散ポンプの小さな排気速度は、圧縮比を減らすために、減らす拡散拡散ポンプの入口と同様に、チタンの昇華を上に追加すると、拡散ポンプからの窒素分圧をさらに下げることができ、10〜11Paの超高真空にすることができます

(2)分子ポンプ超高真空ユニット

メインポンプとして分子ポンプを備えた超高真空ユニットは10-8paの最大真空度を持ち、それは速い起動と小さなオイル汚染を特徴としています。 さらに、液体窒素コールドウェルをユニットに加えてポンピング速度を上げることができる。 水蒸気井戸が機械式ポンプの出口に設置されて、油蒸気がシステムに入るのを防ぐことができる

(3)オイルフリー超高真空ユニット

極低温ポンプ、チタンポンプ、スパッタリングイオンポンプなど、オイルを作動流体として使用せず、有機材料でシールされていない真空ユニットは、オイルフリー超高真空ユニットで一般的に使用されるメインポンプとして知られている。それは10 -7〜10 -8 paの極限真空度を得ることができます。 含油バキュームユニットと比較して、次のような利点があります。

1)汚染源のないきれいな真空が得られる。

2)オイルフリーバキュームポンプを始動すると、プレポンプポンプを切り離すことができます。

3)ポンプが突然停止しても、システムは汚染されません。

4)オイル、振動がなく、作業環境が改善されます。

5)上限真空、高い排気速度、短い排気時間。