スパッタリングシステム
スパッタリングシステムは、 ターゲット 、ターゲット電源 、特殊ガスからなるPVDコーティングのコアです。 ターゲット電源には多くの種類があり、以下のようないくつかの種類があります。
1. 出力モード には、 DC電源 、 AC電源 （正弦波、方形波）、 パルス電源 、 DC重畳パルス電源があります。
2. 出力周波数に応じて 、 直流電源 、 低周波電源 、 中周波電源があります。
3. 電力に応じて、低電力供給、中電力供給、高電力供給、超電力供給があります。
制御モードに よれば 、 定電流電源、定電圧電源、定電源がある。
制御システム
制御システムはデバイス全体の魂であり、システム全体の動作を制御します。 制御システムは、ソフトウェアのオペレーティングシステム、データ収集システム、データ分析システムとエグゼクティブ伝送システムなどで構成されています。 その中で、データ収集システムは、流れ（蒸気）、真空圧力、モータ速度、バルブ位置および他の情報を収集する。 また、ソフトウェアのオペレーティングシステムとデータ解析システムは、ほとんどの状況でPLCです。 また、エグゼクティブトランスミッションシステムは、各種リレー、コンタクタ、電磁弁、スイッチなどから構成されています。