ビデオは分子ポンプの動作原理を解読します

- Aug 06, 2019-

ビデオは分子ポンプの動作原理を解読します

 

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分子ポンプはどのように機能しますか?

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動作原理:

分子ポンプのポンプ機構は、空気を抽出するためにポンプ室の容積の変化に依存する機械式ポンプの機構とは異なります。

 

分子ポンプはモーターによって駆動され、高速で回転します。 分子流領域では、気体分子が高速ブレード表面に衝突し、運動量が気体分子に伝達されるため、気体分子の一部は剛体表面の方向に移動し、ポンプから排出されます。 、空気抽出の目的を達成するため。 通常、剛体表面の高速移動で気体分子を運び、分子牽引現象として知られる現象の特定の方向に移動させ、牽引分子ポンプ(gadポンプ)として知られる真空ポンプで作られたこの現象を使用します。 トラクション分子ポンプの利点は、開始時間が短いことです。分子流状態では圧縮率が高く、あらゆる種類のガスや蒸気を除去でき、特に重いガスの抽出に適しています。 ただし、トラクション分子ポンプの排気速度が小さいため、シールギャップが小さすぎ、作業の信頼性が低く、機械的故障が発生しやすく、実際には製造上の困難はほとんどありません。 その後、トラクション分子ポンプが改良され、ターボ分子ポンプが登場しました。

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ターボ分子ポンプは、交互のローターブレードと固定ローターブレードの複数のグループを含み、図1に示すように、各ブレードには特定の角度で多くの傾斜ブレードがあります。 1.実際のターボ分子ポンプは多段カスケードで構成されています。つまり、作動ブレード、固定ブレード、および可動ブレードが交互に配置されています。 動いているブレードは、回転すると電動ファンブレードのように機能し、ガスを一方から他方に送ります。 分子ポンプの速度を上げることは、分子ポンプの排気速度を向上させるのに有益です。 ブレードの速度制限のため、ガス分子がより速く動く場合、真空を排気することはより困難です。

 

ターボ分子ポンプも機械式真空ポンプの一種であることがわかります。 高速回転多段タービンローターブレードと静止ブレードの組み合わせは、空気抽出に使用されます。これにより、分子流領域で抽出ガスの高い圧縮比が生成され、必要な真空性能が得られます。 ターボ分子ポンプの最終真空は、拡散ポンプよりも高く、最大10 ^ -8paです。 通常の操作では、前段の一定の真空度が必要です。これは、ポンプによって多少異なりますが、一般的には1〜200Paの範囲です。 機械式ポンプを前段ポンプとして使用できます。 高真空ユニットは、分子ポンプと機械式ポンプで構成されています。 ターボ分子ポンプは高速であるため、通常はifモーターで駆動され、電源周波数が300〜400hzの場合に駆動されます。 ターボ分子ポンプは通常水冷式です。

複合分子ポンプは、ターボ分子ポンプとトラクション分子ポンプの直列の組み合わせであり、2種類のポンプの利点を1つに組み合わせ、10 ^ -6-1paの広い圧力範囲で、より大きな排気速度を実現できます。より高い圧縮比により、ポンプの出口圧力が大幅に改善されます。

 

  動作条件

(1)ローター速度が20000r / minに達するため、分子ポンプの起動時間が比較的長くなります。
(2)ガスは分子流の状態にあるため、前段ポンプを装備する必要があります。 一般的に、回転翼ポンプは前段ポンプとして使用されます

 

分子ポンプ機能:

油潤滑分子ポンプ:潤滑油の量が少なく、 前段の真空部では、真空室の汚染が少ない。
グリース潤滑分子ポンプ:グリースの量は非常に少なく、前段ドライポンプはほとんどオイルなしできれいな真空を得ることができます。
完全な磁気サスペンション分子ポンプ:潤滑の必要がなく、ドライポンプで使用でき、オイルのないきれいな真空環境。

 

その他の一般的なアプリケーション:

1.分析(質量分析、電子顕微鏡など)
2.半導体(電子部品、集積回路、フレキシブル太陽電池など)
3.光学/ガラス(熱保護、反射防止、反射、光学フィルター)
4.コーティング(表面保護、装飾塗料、ディスプレイ、スクリーン)
5.真空冶金(真空炉、真空ろう付け、真空焼結、真空合金)
6.漏れ検出(真空システム、車両の燃料タンク、エアバッグ)
7.研究実験(医療用磁気共鳴イメージング、核粒子物理学、核融合研究、レーザー応用など)
8.ランプ生産産業および関連産業


IKS PVD、コーティング機は磁気浮上ターボ分子ポンプを使用しています。 PVD真空コーティング機の詳細については、iks.pvd @ foxmail.comまでお問い合わせください。

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