真空ポンプは、ポンプの速度そして真空ユニット構成!絶対に実用的です。

- Mar 08, 2019-

真空ポンプは、ポンプの速度そして真空ユニット構成!絶対に実用的です。

 

さまざまな真空システムでは、真空の程度が異なる必要があります。したがって、それは一緒に接続された真空ポンプの異なる圧力範囲での作業では、真空の単位のセットによって完了する必要があります。

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高真空側に真空ポンプは、低真空側の真空ポンプは、大気に放出された直接中システムの必要な真空度を実現できます。明らかに最も簡単な真空装置は、大気に直接実行される真空ポンプです。しかし、高真空システムは一般的に 3 段ユニットを必要とする、中央の真空システム一般に 2 段ユニットが必要です。

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高真空ポンプと効果的な高真空ユニットを形成する低真空ポンプは困難です。このためいくつかの理由があります。流れの連続性は、それらの 1 つです。高真空ポンプは、フロント ステージの圧力の制限、つまり、フロント ステージはある特定の圧力よりも高く、ポンプが正常に動作することができます。現在のステージ ポンプには、この重要な圧力が達すると、排気速度がしばしば減少、排気流れの前段階のポンプは、主ポンプの排気流量より少ない可能性があります矛盾した流れ破壊の流れ継続性の要件必然的に原因真空ユニットが正しく行われません。高低真空ポンプが中央の真空ポンプと接続している場合接続ロール、連続的な流れを果たすことが、各ポンプの最高の状態で作業できます。根ポンプ真空の範囲で動作することができます、最も適したのでまたとして知られている根をブースター ポンプ、圧縮比が原因は高されていません、ちょうど数百 Pa 範囲にいくつかの Pa に接続できます。主ポンプの排気の流れが明らかに減少し、3 段高真空ユニットが高い真空度に入るとこの時点で小さいフロント ステージ ポンプのみを削減するため、実際に頻繁に使用される空気抽出の継続性を維持できます。ユニットのエネルギー消費。

 

なぜ高真空装置頻繁 3 段ユニットを必要とする別の理由は、高真空ポンプの吸引圧力の制限によるものです。初期の作動圧力であり、従来の高真空ポンプは、いくつかの pa の範囲ですべてのポンプしたがって、前のポンプは作業を開始する主要なポンプの圧力を事前励起である必要があります。しかし、直線レベル頻繁、大気の圧力を励起する前に削減、真空度の要件を満たすために定期的な真空吸引装置、特にのためにポンプの速度ポンプ圧力としてために長い時間を必要と仕事の時間は、長く煙、また仕事の真空度で時間の長い期間したがってを増やすこと、台中真空ポンプの前に低レベルは、真空ポンプを実現できます主ポンプすることができます仕事のストレス、比較的短い時間で s を作ることができますので、仕事のプレッシャーに、できるだけ早くシステムは、機器の効率を保証します。

 

根ポンプとブースター ポンプの両方は、中真空ポンプとして使用できます。分子ブースター ポンプが、クリーンな真空を得るすることができますだけでなく、優れた高性能真空も非常に高い圧縮比です。同時に中間まで真空範囲のスーパー ポンプの能力もあります。これにより、分子ブースター ポンプが中・高真空性能、低真空ポンプに協力するだけの必要を唯一の真空ポンプでは現在 3 段高真空装置に匹敵する性能を形成できます。具体的には、分子ブースター ポンプ高圧、ためにできますように元ポンプ高いフロー状態になるは簡単分子ブースター ポンプの吸込高圧、pre - ポンプ、ポンプの負担を減らします。分子ブースター ポンプが 100-50pa、基本的に大きさの順序を各時間圧力の法律に従い、ポンプの最初の段階に大気からの圧力で作業できます、したがって、ユニットが高い抽出効率を持つことができます。高真空装置の簡素化と根ポンプをキャンセルは分子ブースター ポンプの別の利点です。大きい高真空応用装置のフロント ステージ ポンプの中古ポンプの能力は、ポンプの時間をさらに短く適切に強化できます。事前揚水時間は非常に短い全体の排気プロセスと比較して、それは非常に現実的な多くの場合、機器の複数のセットの中古ポンプの機能を兼ねることができますのでフロント ステージ ポンプの使用時間は非常に短く、また。これは、真空装置の大規模なアプリケーションを大幅に簡略化されています。

 

いくつかの中規模の真空アプリケーション 10-1 pa、二次根ポンプ台数を実現することは困難はしばしばの範囲を入力する必要がある根ポンプと接続されているセカンダリの単位の使用の順で真空度を向上させることがで大きさ 10-1 pa、第三紀の単位で真空のアプリケーションを使用してもよく入力して。分子ブースター ポンプは、10-1 pa で完全に励起することができます、のでそれも 3 段中真空ユニット 2 段ルーツ ポンプを置き換えることができます。一般に、根ポンプの低圧力の範囲の真空で働く長い時間分子ブースター ポンプ完全に交換できます。ポンプの前にこの圧力範囲は多くの場合は強い排気速度根ポンプの高真空圧範囲で働く長い時間が比較的小さく、する必要があります。

 

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