真空機器の製品分類と特性および真空ポンプの選び方

- Jan 24, 2019-

真空機器の製品分類と特性および真空ポンプの選び方


IKS PVD、PVDコーティング機factory.contact:iks.pvd@foxmail.com


真空装置製品は、5つのカテゴリに分類できます。

 

(1)真空取得装置 - 真空を生成、改善、または維持する装置。 さまざまな粗、低、中、高、超高真空ポンプおよび真空ユニットを含みます。

 

A.機械式真空ポンプ:ロータリーベーンポンプ、往復動ポンプ、スライドバルブポンプ、ルーツポンプ、分子ポンプ、液封ポンプなど

B.蒸気流真空ポンプ:水蒸気ジェットポンプ、オイルブースターポンプおよびオイル拡散ポンプなど。

C.ガス捕獲真空ポンプ:チタンスパッタリングイオンポンプ、極低温ポンプ、モレキュラーシーブ吸着ポンプおよびジルコニウムおよびアルミニウム空気吸収ポンプ。

D.真空ユニット:それはそのような真空の発生、真空の測定、真空の制御などの要素からなる一種のユニットです。

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(2)真空塗布装置〜真空環境(1気圧のガス状態)で塗布される各種の装置。

 

A.真空コーティング機:蒸着コーティング機、マグネトロンスパッタリングコーティング機、イオンコーティング機、プラズマ化学蒸着装置など。

真空溶解炉:抵抗炉、電子ビーム炉、電気アーク炉、誘導炉、単結晶炉等。

真空熱処理炉:急冷炉、焼戻し炉、焼鈍炉、浸炭炉、窒化炉、メタライゼーション炉など。

D.その他の真空装置:凍結乾燥装置、蒸留装置、精製装置、含浸装置、果物と野菜の保存装置、輸送装置、宇宙シミュレーション装置、包装機、鋼製ガス抜き装置など

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(3)真空測定器とは、1気圧以下の気体や蒸気の圧力を測定する装置です。

 

A.低真空計(測定範囲:105−102Pa)。

中真空計(測定範囲:102〜10−1pa)。

高真空計(測定範囲10−1〜10−5pa)。

D.超高真空計(測定範囲<>

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(4)真空漏れ検出器:真空システムまたは構成要素の漏れ穴の位置または割合を検出するための機器。 それは高周波スパークリークディテクタハロゲンリークディテクタとヘリウム質量分析リークディテクタを含みます。

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(5)バキュームバルブ - バキュームシステムの流量調整、パイプラインの切断または接続に使用されるコンポーネント。 プラグプレートバルブ、バッフルバルブ、ソレノイドバルブ、磁気テープ排出バルブ、ダイアフラムバルブ、調整バルブを含みます。

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より良い真空ポンプを選択して使用するために、我々はあなたが正しい製品を選ぶことができるように注意のために特に以下の点をまとめました。 実際の状況によると、私たちはこれらに注意を払うべきです:

1、プロセスと環境の真空ポンプ作業振動は影響を与えません。 プロセスがサポートしていない場合は、ポンプの振動がないことを選択するか、振動を防ぐために一連の措置を取る必要があります。

2.ガスに粒子ダストまたは腐食があるかどうか、ポンピングされたガスの組成を知ってください。 真空ポンプを選ぶときは、ガスの組成を知る必要があります。 ガスに水蒸気、粒子、腐食性ガスが含まれている場合は、ポンプのインレットラインに補助装置を取り付けることを検討する必要があります。

3、その動作圧力で真空ポンプは、生成されたすべてのガスの過程で真空装置を排水することができます。

4、真空ポンプの正しい組み合わせ。 真空ポンプは選択的なポンピングを行うため、ポンピングの要件を満たすことができないポンプを選択することがあります。ポンピングの要件を満たすために互いに補完するいくつかのポンプの組み合わせが必要です。

 

チタン昇華ポンプが水素に対して高いポンピング速度を有するがヘリウムをポンピングすることができず、三極スパッタリングイオンポンプ(または双極性非対称陰極スパッタリングイオンポンプ)がアルゴンに対してあるポンピング速度を有する場合、真空装置は対応する真空度を得る。 。

 

真空装置の油汚染に対する要件。 装置が明らかにオイルを必要としないならば、水リングポンプ、モレキュラーシーブ吸着ポンプ、スパッタリングイオンポンプ、極低温ポンプなどのような様々なポンプを選ぶべきです、要件が厳密でないならば、ポンプを選ぶことができますいくつかの油汚染防止対策。

6、真空ポンプ動作点の正しい選択。 各ポンプには一定範囲の作動圧力があります。 したがって、ポンプの動作点は、この範囲内で選択されるべきであり、それを長時間25〜30mmHgで動作させることはできません。

7.真空ポンプから排出されるオイルベーパーの環境への影響は何ですか? 環境が汚染を許さない場合は、オイルフリーの真空ポンプ、または屋外へのオイルベーパー排気を選択できます。

8.真空ポンプの使用圧力は、極限真空の要件と真空装置の使用圧力を満たすものとします。 たとえば、真空乾燥プロセスでは10 mmHgの作業真空が必要です。選択された真空ポンプの到達真空度は少なくとも2 mmHgでなければならず、最高値は1 mmHgに達することがあります。 通常ポンプの限界真空度を選択するのは、真空装置の作動真空度の半分から数桁高い。

9.最後に、真空ポンプの初期設置価格、運転および保守コストを考慮して、実際の状況と組み合わせて高コストパフォーマンスの真空ポンプを選択してください。