真空コーティング装置リーク検出法

- Oct 16, 2018-

真空機器のリーク検出をコーティング重要性、検出リークが発生を行うことができますか?

 

真空成膜装置の漏水が漏れ検知と呼ばれる真空成膜装置の真空度を確保するための検査測定。リークの検出が不可欠であるので真空度が直接コーティング効果を影響します。.

 

一般的には、真空チャンバー内での空気漏れは、商工会議所またはコンポーネントの前に接続ジョイントの壁に小さな穴をいくつかから生成されます。システムをポンプでくまれる後、真空チャンバー内の圧力は減少をしました。外部と内部の圧力差に真空チャンバー真空度低下の結果、低圧と高圧を外部から流れるガスが発生します。

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真空成膜装置では、リーク検出の良い仕事を行うためにリーク検出過程で次の問題に注意を払う必要があります。

1 かどうか、漏れを確認する仮想漏れや実際の漏洩。それは誤ってガスの流れ来ることを考えること、ワーク材質は加熱後さまざまな程度でガスを生成するため、外からであるこのような状況を排除するために、仮想の漏れ.

2。真空チャンバー内のガスのシール性能をテストします。要件を満たすために気密性能を確保します。

3. サイズ、図形、位置、およびソリューションを準備し、実装する漏れ穴の速度を確認します。

4. 最小漏れ率は、最大限の範囲において漏洩状況を検出、は無視され、いくつかの漏れ穴を避けるため、漏水検知の精度を向上させる、テスト計測器の感度を識別します。.

5. 応答時間とリーク検出器の除去時間を制御します。よく時間を制御、リーク検出器がよく、動作することを確認してください、時間が短い、リーク検出効果が間違いなく悪い、時間が長い、リーク検出のガスおよび労働の電気料金が無駄に。

6. ブロック漏れ穴を避けます。操作エラーのために時々 リーク検出プロセス、いくつかのほこりや液体中など穴をプラグイン リーク、リーク穴この位置が、これらのプラグインは内部と外部の圧力やその他の違いによる理由がないことを考えてリーク穴はブロックされません、漏れが存在します。

 

真空成膜装置の漏水検知の良い仕事を行うことが大切です。真空度低減のための様々 な理由があり、コーティングの効果を安定させるためにこれらの理由から一つずつ解決しなければ。