真空接続ベローズの種類と特性

- Jul 12, 2018-


このペーパーに記載されているベローズは、ベローズの信頼性の高いシール性能と耐用年数を必要とする曲げ、伸縮、偏心動作の超高真空システムに使用できます(図1)。


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図1成形ベローズの使用形態

 

ベローズは、通常、成形ベローズと溶接ベローズの2種類に分類されます。 超高真空システムに使用されるベローズは、一般に、SUS316ステンレス鋼で作られている。

 

超高真空システムでは、分子ポンプと機械ポンプとを接続するベローズの大部分は、両端にNWフランジを有するベローズで形成されている。

 

形成されたベローズの利点は、製造が簡単で低コストであることである。 欠点は、不十分な柔軟性がないことです。 ベローズが形成されていないことを補うのは溶接されたベローズです。