真空についての名詞の説明

- Oct 31, 2018-

真空についての名詞の説明

IKS PVD iks.pvd@foxmail.com

1.真空の定義

真空システムは、その領域の大気圧よりも低いガスの薄い容積である。

2.真空度

真空中の薄さの程度は、通常、「高真空」および「低真空」として表される。 高真空は良好を意味し、低真空は不良を意味する。

3.真空ユニット

通常、Torrがユニットとして使用され、Paは近年国際的に使用されています。

1ホルダー= 1/760雰囲気= 1ミリメートルの水銀

4. TodとPaの間の転送

1パレット= 133.322パレットまたは1パレット= 7.5倍10-3パレット

5.平均フリーパス

不規則な熱運動におけるガス粒子の2つの連続する衝突によって通過する平均距離は、記号「出発」によって示される。

6.流れ

Pa・L / s(Pa・L / s)またはTorr・L / s(Torr・L / s)の単位で、「Q」で表される単位時間内の任意の部分を流れるガスの量。

7.フローガイド

それは、ガスを通過させる真空管路の能力です。 単位はリットル/秒であり、定常状態では、パイプの流れは、パイプの流れをパイプの両端の圧力差で割ったものに等しい。 シンボルはUと呼ばれています。

U = Q /(P2、P1)

8.圧力または圧力

容器の壁の単位面積当たりのガス分子によって加えられる力は、Pとして表される。

9.標準大気圧

1平方センチメートル当たり101325の圧力の記号、記号(Atm)。

10.究極の真空

真空容器が完全にポンピングされた後、それは一定の真空度で安定化され、それは究極の真空と呼ばれる。 通常、真空容器は12時間空気清浄化し、次いで12時間真空にしなければならない。 最終時間は10分ごとに測定されます。 10回の平均値を限界真空値とする。

11.ポンピング率

一定の圧力と温度で、ポンプ入口から単位時間にポンピングされるガスは、ポンピング速度またはポンピング速度と呼ばれる。 Sp = Q /(p-p0)となる。

12.熱電対真空計

発熱体の温度とガスの熱伝導に対する素子の温度との関係で熱電対の電位を用いて真空度を測定する真空計。

13.イオン化真空計(熱陰極電離真空計)

これは、管状のコレクタポールと、グリッドと、グリッドの中央に位置するフィラメントとで構成されている。 筒状のコレクタポールはグリッドの外側にあります。 熱陰極放射電子イオン化されたガス分子は、収集されたイオン流の大きさに従ってコレクターによって収集され、真空計のガス圧を測定する。

複合真空計

熱電対真空計と熱陰極電離真空計で構成されているため、測定範囲は〜10-5paです。

15.冷陰極イオン化ゲージ

陽極管の両端には一対の陰極板があり、外部磁場の作用により陽極管の内部にパニン放電が形成されてイオンが生成され、イオンの大きさに応じてガス圧の真空計が決定される陰極板によって集められた流れ。

16.抵抗真空計

加熱素子の抵抗が温度に関連し、素子の温度がガス伝導に関連するという原理を利用して、ブリッジ回路によって真空度を測定する真空計。

17. McLeod真空計(圧縮真空計)

測定されるガスは、水銀(または油)を用いて非常に小さな体積に圧縮され、その後、開いたチューブと閉じたチューブとの間の液体カラムの差と比較される。

18およびB-Aゲージ

これは、コレクタ反転を備えた熱陰極電離真空計です。 コレクタ電極はフィラメントであり、グリッドの中央に配置され、フィラメントはグリッドの外側に配置され、軟X線の影響を低減する。

19.ウォーターリング真空ポンプ

ポンプインペラが回転して水のリングが生成されます。 ロータの偏心回転による水リングとブレードとの間の体積の周期的変化に起因する空気をポンプする機械的真空ポンプである。

20.往復真空ポンプ

それは、機械的な真空ポンプであり、ピストンの往復運動によって空気を吸引する。

21.オイルシール機械式真空ポンプ

シールを保つためにオイルを持つ機械的な真空ポンプは、固定タイプ、ロータリータイプ、スライドバルブタイプ、トロコイドタイプなどに分けることができます。

22.ルーツ真空ポンプ

同期高速回転靴のローターのペアを持つ機械的な真空ポンプ、このポンプは別々にポンプ、オイルシール、水のリングや他の真空ポンプは直接大気を排気することはできません。

23.ターボ分子真空ポンプ

高速回転羽根車があります。 気体分子が高速回転タービンブレードに衝突すると、それらは出口に向かって駆動され、その後、前方ポンプによって取り除かれる。

24.オイル拡散真空ポンプ

高速の蒸気流が拡散ポンプのノズルから噴出される。 分子流の状態では、気体分子は蒸気流中に連続的に拡散され、蒸気ベルトによって段階的にポンプの出口に圧縮され、その後、元のポンプによって排除される。

低温真空ポンプ

真空ポンプは、20K未満で低温表面上の吸着ガスを凝縮させるために使用された。

26.コールドトラップ(ウォーターバッフル)

真空容器とポンプの間に配置され、気体を吸収したり、油蒸気を捕捉する装置。

27.エアバラストバルブ

小さな穴を開き、レギュレータを置くために、圧縮室に機械的なオイルシールの真空ポンプは、圧縮比を減らすために、圧縮空気室でこの穴を通過したバルブ、特定の場所にロータを開いたときにボリュームを調整する水蒸気の大部分を凝縮させるように、バルブの役割で混合ガスを用いてポンプからロックアウトされ、ガスバラストバルブと呼ばれる。

28.真空凍結乾燥

真空凍結乾燥(昇華乾燥とも呼ばれる)。 アイデアは、材料が氷に変わるように材料を凍結させ、真空中で氷を昇華させて乾燥させることです。

29.真空蒸発

真空環境では、材料を基板上に加熱してコーティングすることは、真空蒸着または真空コーティングと呼ばれる。

30.真空乾燥

それは、真空環境下で低沸点を使用して物品を乾燥させる方法である。

31. 真空システムの一般名称

(1)メインポンプ:真空システムでは、真空コーティングマシンのオイル拡散ポンプなどの特定のプロセス要件を満たすために必要な真空度を得るために使用される真空ポンプがメインポンプです。

(2)前段ポンプ:前段の真空ポンプの圧力をその重要な前段の圧力以下に維持するために使用される真空ポンプ。 回転ベーンまたはスライドバルブポンプは、ルーツポンプの場合のように、前ポンプである。

(3)ラフポンプ:大気圧下で空気のポンプを開始する真空ポンプ、次に作業を開始するためにシステム圧力を別の真空ポンプに圧送する。 摺動バルブポンプの真空コーティング機など、粗いオイルポンプです。

(4)メンテナンスポンプ:真空システムでは、空気量が非常に少なく、フロントポンプを有効に利用することができません。 この目的のために、補助ポンプの小容量がメインポンプの仕事を維持するために、このポンプはメンテナンスポンプと呼ばれます。 小さな回転羽根ポンプが拡散ポンプの出口に設けられている場合、それは保守ポンプである。

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