コーティングプロセスを監視する方法

- May 28, 2018-


真空コーティング装置のプロセスでは、コーティングプロセス中にコーティング製品の位置が変化するため、長期間モニタリングする必要があることは誰もが知っています。 時間内に修正されなければ、材料は無駄になります。 コーティング装置を監視する方法は次のとおりです。


1. 視覚的なモニタリング:目のモニタリングの使用、干渉現象のために、成長プロセスのフィルムは色の変化があるため、我々は、フィルムの厚さを制御するために色の変化に基づいている、このメソッドは、特定のエラーがある、それは非常に正確ではない、それは経験に依存する必要があります。


2.極限モニタリング法: 膜厚が厚くなると、反射率や透過率が変化します。 そして、反射率または透過率が極値点に達すると、コーティングの光学的厚さNDは、モニタリング波長(in)の1/4整数として知ることができる。 反射率や透過率が極端に近くゆっくりと変化する、すなわち膜厚NDが大きくなり、R / Tが変化するため、極値の方法誤差は比較的大きい。 反射感受性の高い位置は1/8波長です。


3.固定値モニタリング方法: この方法は、モニタリング波長の4分の1波長ではない停止メッキポイントを使用し、コンピュータは、コーティングを停止する固定波長での総膜厚の反射率(または透過率)を計算するポイント。


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