ウォーターチラーの真空コーティング機への重要な影響

- May 23, 2018-


真空コーティング装置の原理は、基板を蒸発させて、真空状態の下でそれを基板の表面上に堆積させることである。 空気分子の蒸発が抵抗を引き起こすので、膜を粗くするので、高真空中でのみ、フィルムはきれいになり、明るくなります。 真空が高くなければ、フィルムはその光沢を失い、接着も悪化する。 初期の真空コーティングは、低い結合率と光沢の悪い蒸発の自然散乱に基づいていました。 現在、中間周波マグネトロンスパッタリングターゲットを使用することにより、基板上に堆積された分子衝撃ターゲットの蒸発が促進される。


水冷式冷凍機の機能


マグネトロンスパッタリングターゲットは、発射ガンを変形させるために非常に高い温度を発生させることができるので、ウォータージャケット冷却ガンを有する。 冷却装置は、一定温度、定電流および定圧水冷却装置を提供する水冷装置である。 その動作原理は、ある量の水を水タンクに注入し、冷却システムを通してそれを冷却し、次いで水ポンプによって冷却する必要のある装置に水を送ることである。 冷却水が熱を吸収した後、冷却水は水タンクに戻って冷却効果を達成する。 必要に応じて自動的に冷却水の温度を調整することができ、長期間使用するために水を節約することができます。 冷水は、高品質のコーティングを保証するために、真空コーティング機の温度を制御することができる。 チラーが装備されていない場合、真空コーティング機は高精度のフィルムをプレートすることができません。


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