完全な真空システムの構成

- Jun 19, 2018-


真空適用装置には様々な種類があるが、どのような種類の真空適用装置が真空容器内で必要な真空状態を得るための真空ポンプシステムを備えていても、

 

例えば、真空処理容器は、真空ポンプにパイプラインおよびバルブによって接続されている。 真空ポンプが容器を排気するとき、真空測定装置がその上に必要とされる。 これは最も簡単な真空排気システムです。 (図1)

 

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図1に示す最も単純な真空システムは、ポンプ付き容器内の低真空範囲内の真空しか達成できない。 高真空領域の真空を得る必要がある場合、図1に示す真空システムでは、通常、高真空ポンプを直列に接続します。高真空ポンプを直列に接続する場合、通常、バルブは吸気口および高真空ポンプの出口にそれぞれ接続され、高真空ポンプは真空のみを維持することができる。 直列に接続された高真空ポンプが油拡散ポンプである場合、通常、油拡散ポンプの入口にはトラップ(水冷式バッフル)が設置され、大量の油蒸気がポンプ付き容器に逆流するのを防止します図2に示す)。 要求に応じて、集塵機、真空リレーゲージヘッド、真空軟水接続管、真空ポンプ入口パージバルブおよび他の部品もパイプラインに設置することができ、したがって比較的完全な高真空システムを構成する。


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真空システムが直列に接続された2つ以上の真空ポンプからなる場合、低真空用のポンプは通常上部高真空ポンプのバッキングポンプ(または前ポンプ)と呼ばれ、最高レベルの真空ポンプは真空システム、つまり、最も重要なポンプです。 ポンプされた容器内の最終的な真空および作動真空は、主ポンプによって決定される。 ポンピングされた容器の出口と主ポンプの入口との間の配管は、高真空ラインと呼ばれる。 メインポンプの入口のバルブをメインバルブと呼びます。

 

通常、バッキングポンプはプレポンプとしても機能します。 ポンピングされた容器からプレポンプまでのパイプはプレ真空ラインと呼ばれます。 このラインのバルブをプレ真空ラインバルブといいます。 メインポンプ出口とフォアラインポンプ入口との間のラインをフォアラインと呼びます。 このラインのバルブはフォアラインバルブと呼ばれ、ソフト接続ラインはフォアラインポンプの振動を分離するように設定されています。

 

一般に、完全真空システムは、以下の構成要素からなる。

 

ポンプ装置:例えば、様々な真空ポンプ。

 

2.真空バルブ

 

3.パイプラインの接続

 

4.真空測定装置:真空圧力計や各種規制など。

 

5.その他の部品:トラップ、集塵機、真空リレーゲージ、ガスタンクなど

 

では、真空システムは正確には何ですか? 1つの文で要約すると、特定の真空度を得るために使用される排気システム。

 

真空システム設計の基本的な内容は、ポンプ容器の真空度の要件に従って適切な真空システム設計方式を選択し、カテーテル、バルブ、トラップ、真空測定コンポーネントなどを決定するために選択およびポンプ計算を実行することである。合理的な配分を確保する。 最後に、真空システムアセンブリ図面と部品図面を作成します。