真空測定の特性

- Feb 27, 2018-


1.圧力測定範囲:10 5〜10 -14 Pa。


真空計の大部分は間接測定であり、圧力が10 5〜10 Paのときにのみ単位面積の力を直接測定することができます。 しかし、ほとんどの真空測定圧力は上記の値よりも小さく、直接測定することはできません。間接測定のために低圧(熱伝導、粘度、イオン化など)のガスの特性を使用する必要があります。


3.非電気計測技術を採用しています。 高感度の非電気測定技術により、この方法を用いた真空計の大部分は、高速応答、自動および長距離測定が可能です。 電子真空計は、真空計と電子測定回路(制御および表示装置)の2つの部分で構成されています。 ゲージは敏感な要素です。 低圧下でガスの特性を利用して非電気量のガス圧を電気信号に変換し、測定回路でゲージの出力電気信号を増幅して表示します。 必要に応じて、出力信号を自動レコーダーと自動制御装置に送り、真空装置の自動化を実現します。 非電気圧力を電荷に変換するための要件は、測定回路の制御ユニットによって提供される。


4.いくつかの真空計の読みは、ガスの種類と組成に関係している。 したがって、測定中にガスの種類と組成に特に注意を払う必要があります。 それ以外の場合は、大きなエラーが発生します。


5.測定精度が高くない。 間接的に圧力を測定する過程では、しばしば補助エネルギーが必要になります。 外部エネルギーは、熱エネルギー、電気エネルギー、機械エネルギーおよび放射線エネルギーであり得る。 このようにして、測定誤差は、印加されたエネルギーが導入されるのと同時に導入されることは必然である。 したがって、真空測定器の精度は他の物理的測定器の精度よりも低い。