スパッタリングターゲット

- Jan 17, 2018-

コーティングターゲットは、マグネトロンスパッタリング、マルチアークイオンプレーティング、または他のタイプのコーティングシステムによって、様々な基板上に適切な条件で形成されたスパッタリングソースである。


スパッタリングターゲット材料の要求は、従来の材料産業よりも高い。 サイズ、平坦度、純度、不純物含有量、密度、N / O / C / S、粒度および欠陥制御のような一般に、 より高い要求または特別な要件は、表面粗さ、抵抗、粒度均一性、組成およびテキスチャー均一性、異物(酸化物)含量およびサイズ、透磁率、超高密度および超微粒などを含む。 スパッタリングターゲットは、物理蒸着法の一種であり、電子放出電子銃システムを用い、コーティング材料に焦点を当てて、スピンアウトされた原子が運動量変換の原理に従い、材料から基板に飛び散るようにする堆積膜に至る。 この種のメッキ材料はスパッタリングターゲットと呼ばれている。


マグネトロンスパッタリングコーティングは、多くの点でかなりの利点を有する蒸発コーティング法と比較して、新しいタイプの物理的蒸気コーティング法である。 マグネトロンスパッタリングは、よく発達した技術として多くの分野で使用されてきた。


スパッタリング技術


スパッタリングは、薄膜材料を調製するための主な技術の1つである。 それは、イオン源によって生成されたイオンを使用して真空中で加速して凝集し、固体表面に衝突し、イオンと固体表面原子との間で運動エネルギーを交換する高速イオンビーム電流を形成する。 固体表面上の原子は、固体を残して、基板の表面上に堆積する。 ボンバードされた固体は、 スパッタリングターゲットと呼ばれるスパッタ堆積膜を調製するための原料である。


応用


スパッタリングターゲットは、集積回路、情報記憶装置、液晶ディスプレイ、レーザーメモリ、電子制御装置などの電子および情報産業で主に使用される。 ガラスコーティングの分野にも適用することができる。 耐摩耗性材料、高温腐食、ハイエンド装飾用品および他の産業にも適用することができる。


分類


1.形状に応じて、それは正方形のターゲット円形のターゲットに分割することができます。

この組成物によれば、金属ターゲット、合金ターゲット、セラミック化合物ターゲットに分けることができる。

3.用途に応じて、半導体関連のセラミックターゲット、記録用の誘電体セラミックターゲット、ディスプレイ用のセラミックターゲット、超伝導セラミックターゲット、巨大磁気抵抗セラミックターゲットに分けることができます。

応用分野によれば、マイクロエレクトロニクスターゲット、磁気記録ターゲット、光ディスクターゲット、貴金属ターゲット、薄膜抵抗ターゲット、導電膜ターゲット、表面改質ターゲット、装飾層ターゲット、電極ターゲット、パッケージングターゲットに分けることができるその他のターゲット。


マグネトロンスパッタリングの原理


スパッタされたターゲット(陰極)と陽極との間に直交磁場および電界が印加され、高真空チャンバを所要の不活性ガス(典型的にはArガス)で満たす。 永久磁石は250~350ガウス磁場を形成し、高電圧電場は直交電磁場で構成される。 電界の作用により、Arガスは正イオンと電子にイオン化され、ある負の高電圧がターゲットに印加される。 磁場の影響により、ターゲットから放出された電子と作動ガスの電離確率が高くなり、陰極近傍に高密度プラズマが形成される。 Arイオンが加速されてローレンツ力でターゲット表面に飛行し、ターゲット表面を非常に高速で衝突させ、ターゲットによってスパッタリングされた原子が運動量変換の原理に従い、ターゲット表面からより高い運動エネルギー膜。


マグネトロンスパッタリング トリビュタリスパッタリングの原理は単純で、スパッタリングを行うと速度が速いトリブタリスパッタリングと高周波スパッタリングの 2種類に大別される 高周波スパッタリングがより広く使用されている。 さらに、導電性材料をスパッタリングするだけでなく、非導電性材料をスパッタリングする。 また、反応性スパッタリングによって酸化物、窒化物、炭化物化合物を作製した。 マイクロ波プラズマスパッタリング後に高周波が増加する場合、一般的に使用される電子サイクロトロン共鳴(ECR)マイクロ波プラズマスパッタリング。


マグネトロンスパッタリング用ターゲット 材料 金属スパッタリングコーティング材、合金スパッタリングコーティング材、セラミックスパッタリングコーティング材、ホウ化物セラミックスパッタリングコーティング材、炭化物セラミックスパッタリングコーティング材、フッ化物セラミックスパッタリングコーティング材、窒化物セラミックスパッタリングコーティング材、酸化物セラミックスパッタリングコーティング材料、セレン化物セラミックスパッタリングコーティング材料、ケイ化物セラミックスパッタリングコーティング材料、硫化物セラミックスパッタリングコーティング材料、テルル化物セラミックスパッタリングコーティング材料など。


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