1. CFフランジ
CFフランジとは、超高真空で使用されるフランジ接続であるConflat Flangを指します。 これは高温ベーキングに耐えることができる金属の静的シールの一種です。
公称直径サイズは、DN16,40,63,100,160,200,250を含む。
適用可能な真空度は10-12ミリバールまで
フランジシールの材質は、通常Viton、PTFE、無酸素銅などです。
フランジの材質は通常304,316ステンレスです。
2. ISO-KF
ISO-KFは、真空システムで使用される一種のクイックリリースフランジです。 これは、2つの対称に分布したKFフランジ、Oリング、センタリングブラケット、クランプで構成されています。 他の工具を使用する必要はありませんが、皿ナットを手で緩めて緩めたり、接続部を押したりするだけです。
ISO-KF真空継手は、小型のクイックフィットフランジ付きコネクタです。 公称直径サイズにはDN 10,16,25,40,50が含まれます。
製造基準には、DIN 28403、ISO 2861が含まれています。
適用可能な真空度は10-8ミリバールまでです。
フランジシールの材質は、通常Viton、Buna、Silicone、EPDM、Aluminumなどです。
フランジの材質は通常304,316ステンレス鋼などです。
ISO-KF真空ジョイントは、通常、フランジ、クランプ、Oリング、センタリングリングで構成されます（下図参照）。
3. ISOフランジ
ISOフランジとその配管は、大気圧から高真空まで、多くの場合、組み立てと分解のために幅広い用途に使用できます。 典型的なパイプの直径は50mm（2インチ）以上です。 フッ素ゴム製のOリングを使用すると、150℃のベーキングに耐えることができます。
2つの一般的に使用されるISOフランジはISO-KとISO-Fです
ISO-KおよびISO-F真空継手は、公称直径がDN 63,100,160,200,250,320,400,500および630を含む大型真空継手です。
製造基準には、DIN 28404、ISO 1609が含まれています。
真空が10-8ミリバールまで必要な場合に使用できます。
フランジシールの材質は、通常Viton、Buna、Silicone、EPDM、Aluminum Wireなどです。
フランジの材質は通常304,316ステンレス鋼などです。
a。 ISO-K真空継手は、通常、フランジ、クランプ、Oリング、センタリングリングで構成されています（下図）。
b。 ISO-F真空継手は、通常、フランジ、Oリング、センタリングリングで構成されています。 ISO-Kとは異なり、ISO-Fフランジは下図のようなボルトで頑丈です。
