PVD 真空: 蒸発ロール to ロール巻きコーティング装置

- Nov 01, 2018-

PVD 真空: 蒸発ロール to ロール巻きコーティング装置

 

 

真空コーティング マシンを巻きと、過去 30 年間でおおいに発展をしました。コーティング製品は、装飾、包装、コンデンサーなどの分野で広く使用されて、光学、電気、電磁波、導電性の膜でコーティングすることができます。PE、ペット、PI、PP、OPP、ボップ、紙、発泡体、布を使用します。一般的には、プラスチック フィルム素材の含水率は 1% 〜 2% と、紙には一般的に 5% 以上水分 〜 7%。コーティングにより乾燥後の水分はまだ 3% であります。基板の高含水率、塗装室はオリジナル シングルチャンバーから現在ダブルまたは複室構造を開発しました。蒸着源は抵抗性、誘導性、電子することができますマグネトロンスパッタ リングと。二重チャンバー構造の普及、およびその利点: 紙基板を蒸しおよび大量の空気のリリースにメッキでき、塗装品質を保証することができます。リール部屋多量の紙からガスが放電されます。巻取りの商工会議所と蒸発の部屋の間のギャップは非常に小さい、排出ガスは蒸発室を入りやすくない.排気システムは二重チャンバー構造で小型のガス量は、小型ポンプ装置のコストを削減し、エネルギーを節約する設定が装備されていますが蒸発中の圧力を確保する単室構造で必要です。曲がりくねったルームと蒸発ルーム別にポンプでくまれる、揚水時間を短くことができます。

 

巻き小型真空蒸着装置は、連続一般的なコーターのすべての構造を除いて巻き線方式を実現するため巻上げ機構を持っています。コーティングされた基板は紙やプラスチック大型空気のリリースで、真空チャンバーの構造は単室および複数の部屋に分かれています。巻き二重チャンバー真空メッキ装置の構造を図 10-10 に示します。

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巻き機構の設計に考慮すべきいくつかの問題:

1. に巻き速度を向上させます。巻きスピードは移動ストリップ基板の線形速度です。巻き機構の主な技術です。初期国内塗装機の巻線速度はわずか 10 m/分と今では唯一の 80 m/分 〜 120 m/分。日本の外国 EW シリーズの製品の中で巻線速度 300 m/分、ドイツ l. に達しています。H 社生産コーター 600 m/分に達しています。それは、コーティング技術の発展に伴い、巻き速度が改善する必要があることができます。

2. ストリップ基板の一定した線形速度の問題があります。この問題では基板の膜厚を均一にすることができますので、巻上げのみストリップ基板の定線速度を保証できるためにも重要。これはストリップ基板用機能膜 (キャパシタ膜) などの準備のため特に重要です。

3. 偏差とストリップ基板圧着の問題があります。ストリップ基板の偏向し、コーティング、真剣に基板の破壊を引き起こすし、生産効率にだけ影響が生産を中断を巻線の過程で偏向と巻線速度の向上、、また廃棄物しますが、。したがって、巻き機構の設計ではこの問題を十分に考慮する必要があります。

 

フィルム機にまつわる真空抽出システム 2 つのグループに分かれています: 上部チャンバーと下部チャンバー。上の部屋は、巻き基本材料の部屋低真空度を必要とし、rotz ポンプ ユニットまたは rotz ポンプ ユニットおよび機械式ポンプ ユニットです。一般的な真空蒸着室 1 に達するに x10 pa ^ - 3-2 × 10 ^ - 3 pa、作動圧力は 1 × 10 ^ - 2 pa - 2 x 10 ^ - 2 pa と真空蒸発室より低い順序の大きさは、通常。時々 コイリングの塗装機は主に増強ポンプ (油拡散ポンプのような) として使用されます。その圧力は油拡散ポンプのそれと同じくらい良いが、そのポンプの速度範囲まで高圧の方向、大きさの順でこのような蒸着コーティング プロセスに非常に適しています。

 

現時点では、るつぼの中国では、マシンをめっき膜を巻蒸発源のほとんどを蒸発させるため、その材料は、窒化ホウ素、グラファイト、モリブデンなどを含んでいます。良い電気的・熱的特性、長寿命のため、窒化ホウ素はコイリング コーティング マシンで使用されています。各るつぼの加熱電力が 6 kw - 8 kw とヒーター電圧が 10 v - 12 v。るつぼの番号は基板の幅によって決定されます。幅より広いより多くのるつぼ。500 mm、800 mm で 7 と 1300 mm で 12 で 4 つのるつぼ。るつぼの分布は一様ではなく、真ん中の部分は間隔をより、間隔は基板の端に小さい。最も外側のるつぼのいくつかは基板の幅とオーバー ラップ。


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