真空ポンプの使用上の注意

- May 18, 2018-


▲真空コーティング機の排気速度を上げるには?


1.真空塗装機を初めて使用する場合は、ポンピング(一般に約200℃)しながら1〜2時間加熱し、水蒸気や付着物を除去することができます。

2.コーティングする前に、製品は完全に乾燥していなければなりません。

3.真空コーティング装置を長時間使用して真空排気速度が遅くなった場合は、装置のガードをプレートに交換してから加熱して焼成する必要があります。

4.ポンプ速度が突然遅くなる場合は、漏れを装置で確認してください。重要な部分は、るつぼと熱電対、回転機械、ポンプ接触部の下です。

5.ポンプオイルは定期的にメンテナンスおよび交換してください。


▲避難手続き


最初に真空装置の始動のための2つの手順を決定する:真空の下での第1の操作手順、第2の段階、大気状態での操作手順を決定する。


1.チャンバが低真空状態にある場合、真空バルブの逆流を避けるために、ゲートバルブをすぐに開けることはできません。

正しい操作手順は、まず蛇口を開き、メカニカルポンプを開き、真空計の電源を入れます。 真空計の測定値が30Pa程度になることを確認してください。 分子ポンプの動作周波数が50Hzに達したら、分子ポンプとゲートバルブをオンにします。


2.チャンバが大気の下にある場合は、まずリーク検出、つまりチャンバのドアとベントバルブを閉じます。 その後、蛇口、ゲートバルブ、メカニカルポンプ、真空計電源を入れます。 真空計の示度が約30Paに達したことを確認し、分子ポンプをオンにします。


3.分子ポンプが正常に動作している場合(動作周波数が450Hzで安定している場合)、イオン化ゲージ装置のスタートボタンを押して真空度を確認します。


真空が10 -4〜10 -5 Paに達すると、イオンポンプをオンにすることができます。 このとき、まず分子ポンプのゲートバルブを閉じて、イオンポンプの電圧が4000Vに達するまで分子ポンプをオフにしないで(イオンポンプの安定動作後)、分子ポンプをオフにするおよび機械的ポンプを含む。


5.真空を維持する必要がない場合は、まず真空計の電源を切ってから、イオンポンプのゲートバルブを閉じるだけで、イオンポンプはオフにしないでください。その内部環境を維持する。