プラズマ洗浄

- Jul 05, 2018-

 

従来の洗浄方法を達成することはできません結果を達成するためにプラズマを用いたプラズマ クリーニングを意味します。プラズマは物質が固体、液体、気体の一般的な 3 段階に属していない物質の第四状態とも呼ばれる状態です。それはイオン化ガスへ十分なエネルギーを適用するプラズマ状態になります。

 

プラズマの「アクティブ」のコンポーネントは、イオン、電子、原子、反応基、興奮状態 (転移状態)、核種光子などなど。プラズマ クリーニングは、クリーニングとコーティングの効果を達成するためにこれらのアクティブなコンポーネントの特性を利用した試料の表面の治療を指します。ワークピースのサーフェスは、ワークピースの表面活性が向上、分子レベルでの汚染物質の除去を達成するために化学的又は物理的操作によって処理されます。削除される汚染物質は、高精密洗浄の一種であるプラズマ洗浄、微粒子汚染物質など、酸化物フォトレジスト有機物エポキシ樹脂を含めることができます。さまざまな汚染物質のさまざまな洗浄プロセスを使用してください。一般的に言えば、プラズマ洗浄、化学洗浄、物理的な洗浄、選択したプロセスのガスによって物理的な化学洗浄に分類されます。


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