ターボ分子ポンプ 使用は、気体分子に勢いを渡す移動インペラの高速回転は、ガス生成の流れの方向、真空ポンプ.ターボ分子ポンプ、ポンプ本体、ブレード (すなわち移動羽根車)、静的羽根車および駆動システムが付いている回転子によって主に部品です。
利点
いくつかの側面でターボ分子ポンプ クライオ ポンプよりはましだ、イオン ポンプ ・拡散ポンプの性能が優れています。したがって、一般的なケースではターボポンプの使用より。
(1)、オイルフリー ・ クリーン蒸気の逆流
ターボ分子ポンプは、任意の整形なしで動作し、励起されたコンテナーのクリーンな真空環境を提供できます、任意の炭化水素が含まれていない操作規則に従って動作できます。
使用する (2) 便利
多くのアプリケーションでは、高真空バルブまたは荒い真空バルブ ターボ ポンプは必要ありません。ボタンを押すだけ、ポンプが動作、始めることができる大気圧から到達圧力を減らすことができます。システムは粗励起によるターボ分子ポンプすることができ、動作速度まで加速することができます。これは、バルブ、パイプ、トラップ、バルブの制御の必要性およびその他の真空コンポーネントを排除します。また、これらのコンポーネントの障害を排除します。
(3) 強いガス輸送能力
ほとんどターボ分子ポンプは、水素やヘリウム、最適なプロセス処理の超高真空下など光のガスを提供する強力な能力を持っています。腐食性ガスを除去するために特別に設計されたターボ分子ポンプは、エッチング、反応性イオン エッチング、イオンビーム加工、低圧化学気相蒸着、エピタキシーとイオン注入プロセスに適しています。プロセスの間に排気ガスは極低温ポンプ、イオンポンプ、拡散ポンプ油、腐食し、標準的な保護されていないターボ分子ポンプを破壊できます。ターボ分子ポンプは、伝送のポンプに属し、排気されたガスは積算されません、ポンプにので、高負荷の処理に適しています。
(4) 超高真空用途に適した
2 段階回転ポンプ良いパフォーマンス (または同じパフォーマンス乾燥前ポンプ) とシールと脱ガスの良いターボ分子ポンプが備わっています。究極の真空が 10 に達することができます。-910-10トル (133.3 に 13.33 nPa)。金属密封とよく脱ポンプを使用して別のターボ分子ポンプ、ターボ分子ポンプを接続した場合その圧力は 1 × 10-101 × 10-11トル (13.33 に 1.333 nPa) 間。極低温ポンプ、イオンポンプとは異なり、ターボ分子ポンプは超高真空条件下における排気速度で動作します。
(高圧 5) 良好なパフォーマンス
いくつかのターボ分子ポンプのインレット圧を 10 間実行できます。-110-3トル (13.33 133.3 mpa Pa)。この圧力範囲でイオン ポンプは、排気速度または正規の再生を調整しなくても、クライオ ポンプには使用できません、拡散ポンプの作業が不安定になります。
(6) 短いサイクル タイム
ほとんどのターボ分子ポンプ、特に小さいものは、通常必要 1 〜 通常の走行速度に達するまで 3 分。ポンプの異なる種類のモデルが異なるとすぐに停止することができ、大気にさらされることができます。
(長い時間のため 7) 通常の使用
一部のアプリケーションでは、ターボ分子ポンプの通常の使用時間は他のポンプのより優れています。重いガス負荷とバルブのため漏洩、クライオ ポンプ頻繁に可変間隔再生になりますやイオン ポンプは多くの場合修復、ターボ分子ポンプは、真空ポンプ油汚染を除去するためにも使用できます。
