既知の混合ガス組成の真空度の測定

- Jul 12, 2018-


熱伝導真空計を用いて混合ガスの真空系を試験する場合、混合ガス中の各種ガスの体積百分率Vi(i = 1,2,3、...、n)が分かれば、相対感度S以下の式により算出することができる。

 

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Vi:i番目のガスの体積パーセンテージ。


Sri - i番目のガスの相対感度。

 

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Srを計算した後、上記の方法で測定した結果にSrを掛けて実際の混合ガスの真空度を求める。