スパッタ膜に影響を与える主なパラメータ

- Mar 25, 2019-

スパッタ膜に影響を与える主なパラメータ

 

堆積速度とは、ターゲットからスパッタリングされる材料によって単位時間内に基板上に堆積される膜厚をいい、これはスパッタリング速度に比例する。 次のような関係があります。

sa11

qt = CIh

Qt - 堆積速度を表します。

スパッタリング装置の特性を表すC定数。

I - はイオン流を表す。

H - はスパッタ率を表す。

 

この式から、スパッタリング装置が固定されている場合(すなわち、Cはスパッタリング装置の固定パラメータであり、一般に設計開始時のターゲット基底距離などの重要なパラメータによって決定される)および作動ガスは以下の通りである。が選択される場合、堆積速度を改善するための最良の方法はイオン流Iを増加させることである。

 

マグネトロンスパッタリングによる成膜速度は、ターゲット電力に比例する。 堆積速度を決定する要因は以下の通りである:エッチングされた領域の電力密度、エッチングされた領域の面積、ターゲット - ベース間距離、ターゲット材料、ガス圧力、ガス組成など。それらは、圧力、電力密度、エッチング面積などのように互いに影響を与える。さらに、ターゲットの熱的および機械的特性も最大スパッタリング速度を制限する


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