マスフローコントローラの紹介

- Jan 31, 2018-


マスフローコントローラ(MFC)は、ガスの質量流量の正確な測定と制御に使用されます。 通常、流量センサ、流量制御弁、増幅制御回路、シャント制御チャネルで構成されています。 その作業電源およびフロー表示およびサポートフローによるディスプレイ操作はディスプレイ電源を表示します。


使用と機能


MFCは、半導体マイクロエレクトロニクス業界、特殊材料開発、化学工業、石油産業、医薬品、環境保護、真空など、多くの分野で科学研究および生産に重要な役割を果たしています。


典型的な用途には、拡散、酸化、エピタキシ、CVD、プラズマエッチング、スパッタリング、イオン注入などの電子プロセス装置; 真空コーティング装置、ガスクロマトグラフおよびその他の分析機器。


高精度、良好な再現性、高速応答速度、ソフトスタート、安定した信頼性の高い作動圧力範囲(高圧または真空条件下で動作可能)を備えたマスフローコントローラおよびマスフローメータは、操作が簡単です。 MFCは任意の位置に取り付けることができ、自動制御を実現するためにコンピュータに接続されています。


流量計は、一般に次のタイプに分類されます。


1.容積流量計

これは、機械的測定要素を使用して、流体を単一の既知の体積部分に連続的に分割する。 流体の体積流量は、測定チャンバから連続的に充填され、かつ順次吐出される流体の体積の回数に従って測定される。


2.フロート式流量計(ローター流量計)

フロート式流量計は一種の可変面積流量計であり、上下から垂直にかけて、フロートの重力の円形断面が液体力で支えられ、フロートは円錐内で自由になることができます。


3.差圧式流量計

これは、パイプに設置された流量検出器によって生成された差圧、既知の流体の状態、およびパイプとパイプとの間の流量を計算するメータに基づいている。


4.渦流式流量計(VSF)

非流線形ボルテックスジェネレータは、流体中に配置され、流体は、生成本体の両側で交互に分離され、2つの一連の規則的にインターレースされた渦の器具を放出する。


5.タービン流量計

速度計の主なタイプです。 これは、マルチブレードロータ(タービン)を使用して流体の平均速度を検出し、流量または全量の装置を推定する。


6.超音波流量計

超音波ビーム(または超音波パルス)に対する流体の流れの影響を測定することによって流量を測定します。


7.電磁流量計

電磁流量計は、ファラデーの電磁誘導の法則に基づいて液体の導電率を測定するための装置の一種です。


8.熱質量流量計

熱式流量計センサには、速度センサと温度センサの2つの検出素子が含まれています。 彼らは自動的にガスの温度変化を補正し、較正することができます。 装置の電気加熱部は、速度センサを作業条件の温度よりも高い値に加熱し、作業温度条件における速度センサとセンサとの間の一定温度差が形成された。 温度差が一定に保たれている場合、電気加熱によって消費されるエネルギーは、ガス流の質量流量に比例し、単一ガスおよび多成分ガスの一定割合の測定に適している。


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