真空コーティング装置用低温ポンプの一般分類

- Apr 13, 2019-

真空コーティング装置用低温ポンプの一般分類

 

媒体供給モードに応じて、極低温ポンプは次の種類に分けられます。

 

貯蔵タンク極低温ポンプ:極低温媒体(液体ヘリウム)は、ガスの凝縮および抽出の目的を達成するためにポンプの貯蔵タンクに直接注入される。

 

タンク極低温ポンプの利点は、小型、振動、騒音がなく、操作が簡単で、大学や研究機関、高エネルギー加速器などの大型真空工学に適していることです。

 

タンク低温ポンプの不利な点は、運転コストが高いこと、低温媒体の使用時間が毎回短いこと、長期連続運転を必要とする真空システムが作動媒体を定期的に補充することを必要とすることであり、そして低温媒体供給条件

 

フロー低温ポンプ:ポンプ内で、極低温プレート冷却管が冷凍エキスパンダーに接続され、極低温媒体(気体ヘリウム)が極低温プレートの熱を吸収してから戻る外部パイプラインを通して極低温ポンプに供給される。冷凍圧縮機に送られ、閉サイクルを形成する。 この極低温ポンプは、膨大な容積、複雑なパイプライン、およびパイプラインの大きな低温損失を有する。

 

プロセス極低温ポンプの利点は、大きな冷却力であり、z *は、宇宙用環状金型装置、制御熱核反応装置、ロケットエンジンの高高度着火試験および低真空で広く使用されている大量の空気または大きな真空室のポンピングに適しています。圧力空力テスト

 

小型冷凍機用極低温ポンプ:密閉循環型小型冷凍機用極低温ポンプは、極低温ポンプ本体、極低温ポンピングプレート、放射線遮蔽プレート、冷凍機、コンプレッサーなどで構成されています。

 

小型冷凍機クライオポンプと低温ポンプz *のプロセス、直接放射スクリーン、コールドプレートに接続されている地域特に冷凍機ヘッドの二次冷却、パイプ内の圧縮機の流れに接続されている機械は、常温、高(または低)圧力ガス媒体は、低温媒体の輸送の問題はありません、低温でのプロセスと低温の低温貯蔵タンク型ポンプのすべての種類の利点は、理想的なクリーン超高真空ポンプです。

 

小型冷蔵庫の極低温ポンプは、フィルム製造、マイクロエレクトロニクス技術、高エネルギー物理学、小型環状金型装置および他の産業分野で広く使用されている。

 

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