小径パイプラインに使用されるゴム製シールリング付き真空フランジは、NW(またはKF)フランジとして知られており、低、中、高真空システムで広く使用されています。 その特徴は簡単な使用と経済的なコストであり、繰り返し使用することもできます。 しかし、NWフランジには2つの大きな欠点があります。1.機器の焼き付け時の耐熱性が制限されています。 2.水素およびヘリウムガス透過性の問題。
NWフランジを使用する場合は、2つのNWフランジの間に外側にゴム製のOリングラバーを備えたセンターブラケットを取り付け、クランプを通して外側をすばやく取り付けたり取り外したりすることができます(図1)。 フッ素ゴムリングを使用する場合、焼成温度は150℃に達することがあります。
図1.クランプとセンターブラケットによるシーリングの概略図
1. CF / NWアダプターフランジ
2.クランプ
3.センターブラケット
4.ゴムリング
5.NWアダプターフランジ
NWブラインドフランジの主なモデルとサイズを表1に示します。
表1. NWブラインドフランジの主なモデルとサイズ