PVDコーティング用チタンアルミニウムターゲットの作製と応用

- Jun 02, 2018-

伝統的に、鋳造プロセスおよび粉末冶金法は、 チタンアルミニウム合金ターゲットを製造するために使用される。

 

チタン - アルミニウム合金ターゲットの穴をゆるめて収縮させることは、鋳造プロセスによって避けられません。 大型チタン - アルミ鋳造管およびインゴットは、回転管ターゲットを製造する際に、良好なシーリングおよび防水効果を保証することができない。 また、壁の厚さは、管の壁がエッチングされるにつれて減少する。 ゆるみと穴が開いている穴がある限り、シールは悪化します。 漏れによりターゲット管が発光したり放電したりしたり、多量の雑ガスが反応に関与して膜の脱落や塗膜の色むらが発生する。 重大なケースでは、水が収縮孔から真空チャンバ内に噴射され、真のキャビティおよび真空ユニットを汚染する。

 

粉末冶金法によるゆるみや収縮の欠点はありません。 しかし、粉末冶金の微視的見地から、それはまた多孔質材料でもある。 したがって、チタンアルミニウム回転管ターゲットを製造するためには、材料の密度は98%より大きくなければならないが、密度要件を満たすことが使用可能であるということを意味しない。 チタンアルミニウムインゴットが高い酸素含有量および不合理な微細構造を有する場合、大きな内部応力のために回転管ターゲットを製造することができない。 したがって、粉体製造および粒度分布には多くの要件がある。 材料がこれらの条件をすべて満たしていても、粉末冶金チタンアルミニウムリングはステンレス鋼管またはチタン管に縛られなければなりません。 チタンアルミニウムの大きな熱膨張係数のために、スパッタリング時に局所的なターゲット材料の膨張が0.5〜1mに達する可能性があるので、従来のバインディングインゴット法はこの問題を効果的に解決することができない。 チタンアルミニウムインゴットが分離され、ターゲット表面の熱エネルギーを伝導および破裂させることができないという現象がある。 結合インゴットの緊密な嵌合は信頼性がなく、プラズマ被覆されたチタンアルミニウム合金ターゲットの品質が悪い。

 

最近、腕時計、宝飾品、眼鏡業界では、カーボンを含まないローズゴールド装飾コーティングが必要となり、ローズの底面がコーティングの表面にローズゴールドカラーに近くなります。 したがって、TiCNは要求を満たすことができず、TiAlNが最も完璧な解決策である。 ローエンドの時計や時計には、フィルムの厚さや光沢があまり要求されないため、TiAlNコーティングを施すためにアークチタンアルミニウムターゲットを使用しています。ハイエンドブランドの時計や時計には、1um以上の高光沢が必要です。 アークは、液滴によるフィルムの厚さを平滑にする利点がない。 現在のところ、回転チューブのターゲットを使用してTiAINコーティングを付着させ、その色はローズゴールドに近く、厚さを増やしても光沢は影響を受けません。


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