真空成膜装置の運転のための緊急計画

- Nov 05, 2018-

真空成膜装置の運転のための緊急計画

 

真空成膜装置、発生した水、電力、ガス漏れ、その他の緊急事態時ですか。このような状況でどうか。今日次の真空成膜装置操作緊急計画を立てます、役に立つことを期待!

1. 機器清掃し、一定時間の掃除

機器は、時間帯では、通常 50 〜 70 倍です。それは清掃され、清掃する必要があり、空の炉が一度動作します。作業の方法は、加熱真空度 10-2 Pa よりも高いの初めて、暖房温度は 20 の通常の温度よりも高く.Z * 炉の温度で 1 時間以上保温し、自然冷却します。これは機器の内部をきれいに保ちます。

2 空気ボトルを置き換えます。

装置によって使用される空気シリンダー交換が必要で、バルブを安定化圧力を削除し、空気の新しいボトルと交換します。新しいボンベを交換した後ワークを加熱しない場合は、前にそれは記入されるべき炉避難プロセス中にガスパイプ ラインをきれいに保つために、プロセスを変更するシリンダーの中にいくつかの空気を描画パイプライン メモリ不足。

3. 少量の油は、回転部分に適用する必要があります。

真空ポンプ油の少量は、最初潤滑表面の回転部に適用する必要があります。真空ポンプにクリーニング、ノーアイロン、砂やホコリに注意を払ってください、良好な接触位置決めする必要があります。真空ポンプのインストールが簡単に回転する必要がありますは、深刻なしこりや閉塞がないです。

4. ときに正常に動作してある機器が突然空気をリーク

漏れのポイントはすぐに見つけることができる場合、真空シール泥で漏洩点がシールされています。仕事を終えて、漏洩点を取り扱いいたします。場合リークの場所を特定できない場合は、すぐに動作停止し、修復する必要があります。

5. 水と電力の高温カットします。

真空装置は、高温を恐れているときに、電源、水します。そこでユーザーは、機器をインストールするとき、バックアップの水タンクや水道管を持っています。

装置が停止したときは、高温で水と電力を供給、ポンプとバルブを閉じる必要があります。オペレーターは、スタンバイの水または水道水装置を冷却するためにすぐに切り替える必要があります。制御盤を"off"の位置のすべてのボタンを閉じます。同時に電極アウトレット ジョイントをラップし、電極界面の過熱を避けるために定期的に交換するぬれたタオルを使用し、シール リングにダメージを与えます。


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