オイルフリーボルテックス真空ポンプに関する知識をすべて理解しましたか。

- Apr 27, 2019-

オイルフリーボルテックス真空ポンプに関する知識をすべて理解しましたか。

 

I.オイルフリーボルテックス真空ポンプの応用と範囲

オイルフリーボルテックス真空ポンプは、新世代のオイルフリー真空ポンプです。 それは高い圧縮比、広い範囲の圧力で安定したポンピング速度、国際的な高度なレベルの性能、高価な外国の類似製品の交換をしています。 それは真空室を汚染することはなく、ポンプ本体の周囲の環境汚染を引き起こさないであろうが、大気圧連続運転の近くでも、運転はグリーン真空、省エネルギーおよび排出削減優先モデルを達成するために非常に簡単である。 分子ポンプ接続、医療機器、電子機器、半導体、医療、真空包装、太陽エネルギー、真空乾燥およびろ過、科学研究、分析機器、真空固定、ガス抜き、真空成形、漏れ検出、加速器、スパッタリングで広く使用されていますデバイス、リカバリデバイスなど。

II。 オイルフリーボルテックス真空ポンプの作動原理

オイルフリースクロール真空ポンプは、2つのインボリュートスパイラルカーブディスク、すなわち静的スクロールと移動スクロールで構成されています。 偏心設置のための可動スクロール、静止スクロールおよび可動スクロールはムーンバッド形の空洞を形成する。 回転する渦円板が回転すると、ムーンバッド室は内側に回転して圧縮し、最後に中央から空気出口に出る。 スクロールプレートの連続動作、吸気口からの連続的なガス、排気口からの圧縮、真空を形成する。

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ステップ1。 ボリュームキャビティ内の空気を吸い込んでシールし、圧縮し始めます。
ステップ2。 容積測定用キャビティの中心点に向かって圧縮を続けます。
ステップ3。 空気を容積測定キャビティの中心に圧縮すると、排気が始まろうとしています。
ステップ4。 排気、圧縮プロセスの終わり。

III。 オイルフリーボルテックス真空ポンプの設置

1.商品を確認する
1)箱が上を向いていることを確認して開きます。
2)製品モデルが注文したモデルかどうかを確認してください。
3)損傷がないか確認してください。 損傷がある場合は、運送業者に対して請求を行う必要があります。
4)インレットクランプとアウトレットクランプを外します。
5)製品のビニール袋に入っている梱包リストを確認し、製品名と数量が完全に梱包されているかどうかを確認します。

作業環境
1)感電の危険があります。 雨や水蒸気などの湿気にさらされない場所にポンプを設置してください。 電源接続部に湿気があると、ショートして怪我や感電の原因となることがあります。
2)爆発や火災の危険があります。 設置場所は、爆発性の可燃性ガスやその他の関連する危険にさらさないでください。 さもなければ、ポンプは爆発や火災を引き起こす可能性があります。
3)5℃と40℃の環境温度で動作します。 この周囲温度範囲外で操作すると、火災、損傷、または故障の原因となる可能性があります。
4)適切な換気を確保してください。 換気のよい場所に機器を設置してください。 ボルテックスポンプは不十分な換気によって空冷されるため、異常な過熱、火災または故障の原因となる可能性があります。
5)ポンプを正しい場所に取り付けます。 設置場所は埃や腐食性ガスから保護するものとします。 ポンプを適切な場所に設置しないと、損傷や故障の原因となります。 ポンプは、鉄、砂利、研磨剤、木粉などのない場所に設置してください。 設置場所は、直射日光を避けてください。 直射日光にさらされると、高温や故障の原因になります。

3.ポンプフィッティング

ポンプは輸送のための持ち上がるリングボルトが装備されています。 十分な支持力を持つ吊り上げ装置を使用しなければならない。 ポンプが吊り上げられて動いている間は、吊り下げられたポンプの下には絶対に立っていない ポンプを安定した水平な地面(5 °未満の傾斜)に設置する。 取り付けは滑らかではなく、故障の原因となる可能性があります。 地面が不安定な場合は、次の方法でポンプを固定します。ポンプの脚に10 8 mmの穴を開けて固定します。

電気接続
電気接続は有資格の電気技師が行う必要があります。 感電や火災の恐れがあります。 ポンプを接続する前に、主入力電源を切断してください。 これを怠ると、感電によるけがをする恐れがあります。 配線の前に電源と電圧を確認してください。 2つの電圧で利用できる三相モーター:380V 50HZ; 440v 60Hz。

IV。 オイルフリーボルテックス真空ポンプと真空システムの接続

1.ポンプの入口(フランジ)はKF40、出口(フランジ)はKF25です。
2.一般に、ポンプの入口は真空チャンバに直接接続されていますが、それはクリーンなガスでなければなりません。
3.破片、水蒸気、粉塵がある場合は、次のように接続することをお勧めします。
4.始動時または停止時に破片が真空ポンプから真空室に逆流しないように、真空室とポンプの入口の間に遮断弁を取り付けます。
5、我々は遮断弁として自動弁の使用をお勧めします、それはポンプ内部から戻って真空室への破片を防ぐために、それが閉じるのが停電にあります。
6.遮断弁とポンプの入口の間に充填弁を取り付けます。 システム運転中に充填バルブを開いて、ポンプ内の汚れや水蒸気を取り除いてください。
7、真空チャンバーと真空ポンプの間に、きれいな接続パイプを使用する。 ポンプの振動が真空チャンバに伝わらないように、ポンプの入口と真空チャンバの間にホースを使用することをお勧めします。
8.運転中に排気管が塞がれていないことを確認してください。
9、ポンプ出口圧力が大気圧を超えないようにしてください。

V.オイルフリーボルテックス真空ポンプの運転

1、開始
1)ポンプを始動する前に、各接続インターフェースの状態を確認してシールします。そうしないと、真空度に影響します。
2)吸湿性の空気または凝縮可能な蒸気を吸い込む場合は、ポンプを始動する前に、ポンプを浄化するために下記のように入口を開けなければならない。
3)ポンプが最初に始動されるかまたは長期間アイドル状態になった後、ポンプがその限界圧力に達するのに6〜8時間かかる。
インレットアイソレーションバルブを閉じて、ポンプを6〜8時間連続して運転します。 1時間に2〜3回充填バルブを開き、毎回3〜5秒間通気します。 しかし、ポンプが途中で止まると、水分がポンプに入る可能性があり、限界圧力に達するのに必要な時間が長くなります。
4)ポンプを始動および停止するときは、真空ポンプと真空チャンバの間の遮断弁を閉じてください。 さもなければ、破片がポンプから真空ポンプにポンプで戻される可能性があります。
5)ポンプを運転温度で再び始動するときは、充填バルブを開いて3〜5秒間空にしてからポンプを始動してください。 そうでないと、ポンプの温度が不安定になり故障の原因となります。

2、操作
以下の手順に従ってポンプを始動します。
1)アイソレーションバルブを閉じて、破片がバキュームポンプからバキュームチャンバにポンプで戻されないようにします。 充電バルブが取り付けられている場合は開きます。
2)真空ポンプの電源を入れます。
3)遮断バルブを開き(取り付けられている場合は充填バルブを閉じます)、真空チャンバに空気を送ります。
3、抽出
1)ポンプを限界圧力(たとえば、タービン前の分子ポンプ)に近づけて連続運転すると、ポンプ内に異物や水分が付着して故障の原因となります。
2)運転中に遮断弁を閉じ、充填弁を3〜5秒間数回、つまり1日に1回空にしてポンプ内の異物を取り除きます。
3)抽出蒸気湿度運転で規定されている場合、入口ガス温度は50℃以下でなければならない。 蒸気の湿度が50℃を超えるときは、ポンプとパイプラインの間に真空管を設置するか、凝縮器またはコールドトラップを設け、入口の蒸気温度を50℃以下に下げます。 蒸気温度の吸い込みが50℃を超えると、故障の原因となります。

排気スチーム

1)蒸気抜き出し中は、吸気口を開けてください。 蒸気抽出が入口を閉じることによって行われる場合、凝縮した水分がポンプ内に残り、それが故障の原因となります。
2)吸気口を開くと、騒音レベルと限界圧力が上昇します。


エアフラッシングの目的
1)吸引ポンプ内の一回換気量は、真空チャンバ内の温度および圧力によって変化する。 湿ったガスを吸引すると、ポンプ内に湿気が凝縮する可能性があります。 この残留水分は、ポンプが圧力性能や故障を制限する原因となる可能性があります。
2)真空チャンバ内に湿度が60%RHを超えるガスが含まれている場合は、空気注入口を開いてポンプを操作する必要があります。
3)空気入口を開き、ポンプが最大圧力に達することができるように、水分を除去するためにポンプを運転します。

6、ダウンタイム
1)蒸気を抜き出して排出した後、空気取り入れ口を開いた状態で1時間以上運転を続ける。
2)蒸気の排気の直後に空気入口を閉じるかポンプを止めると、凝縮した湿気がポンプ内に残り故障の原因となります。
3)機械が停止しているときに、破片が真空ポンプから真空チャンバーにポンプで戻されないようにするために、遮断バルブを閉じます(取り付けられている場合は充填バルブを開きます)。
4)真空ポンプを停止します。
5)ポンプが停止すると、空気が空気入口からポンプ内に吸い込まれ、ポンプ内の圧力が大気圧と等しくなる。 真空チャンバ内の真空を維持し、破片が真空ポンプから真空チャンバ内に吸い込まれるのを防ぐために、ポンプを停止する前に真空チャンバにつながる遮断バルブを閉じてください。

 

IKS PVD、真空コーティング機製造、連絡先:iks.pvd@foxmail.com