極真空の概念と応用

- May 04, 2019-

極真空の概念と応用

 

限界真空の概念

「エクストリームバキューム」のフルネームは「エクストリームバキューム」であり、これはミニチュアバキュームポンプで達成できる最大バキュームを意味します。

 

極真空は物質(分子、原子など)が存在しない状態です。これは理論的な状態で、実際には達成することは不可能です。

 

例えば、弱い排気能力を有する特定のマイクロ真空ポンプは、無限期間後に密封容器内のガス圧力を通常の100KPaから95KPaに下げることしかできない。 そして95KPaがこのポンプの最高真空度です。 例えば、強い排気能力を有するマイクロ真空ポンプがあり、それは100KPaから10KPaまで空気圧を下げることができ、そして10KPaはこのポンプの極端な真空度である。

 

極真空の応用

 

「極真空」は、真空ポンプの重要なパラメータであり、反応ポンプの排気能力の特性値および真空ポンプに関する値である。 真空ポンプが異なれば、「エクストリームバキューム」の度合いも異なります。 そして、「理論真空」は理論研究の概念であり、様々な実用的要因の影響を排除して抽出された理想的な真空状態です。 真空容器は完全抽出後に一定の真空度で安定化され、これは到達真空度と呼ばれる。 一般に、真空容器は12時間のガス精製、それに続く12時間の真空排気を受けなければならず、そして最後の1時間は10分毎に測定される。 10回の平均値を限界真空値とする。

 

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