一般的な品質問題と解決法真空アルミニウムメッキ

- Jun 11, 2018-


1.フィルム表面の茶色の縞

 

低真空圧力

解決方法:アルミニウム供給装置、蒸着装置、冷却装置、巻き戻しおよび巻き取り装置、および真空チャンバ内のガイドローラを清掃します。 真空システムを確認し、周囲の湿度を下げてください。

 

ガスを放出するフィルム

解決策:フィルムの予備乾燥と真空排気時間の延長。

 

アルミニウムスプレーが多すぎます

解決策:速度を上げ、 蒸発ボートの電流を減らし、アルミニウムの供給速度を下げます。

 

蒸発ボートに不純物が含まれている

解決策:蒸発ボートと熱シールドを清掃します。

 

蒸発ボートは老化しています

解決方法:蒸発ボートを交換します。

 


2.アルミニウムめっきの際に穴があります。

 

蒸発ボートには多すぎるアルミニウム材料があります

解決策:アルミニウムの供給速度を低下させます。 蒸発ボートの電流を増加させます。

 

真空チャンバ内の蒸発ボート間の短絡

解決策:短絡をブロックする

 

真空チャンバ内の不純物の飛散

解決方法:真空チャンバ壁、アルミニウム蒸着装置、冷却ドラム、巻き戻し装置、巻き取り装置および各ガイドローラを清掃します。

 


3.アルミニウムめっき時の伸び現象

 

基材の張力が高すぎる

解決策:巻き戻しおよび巻取り張力制御システムを調整し、張力を適切に下げます。

 

冷却システムが誤動作しています

解決策:冷却システムをチェックし、トラブルシューティングを行います。