1.フィルム表面の茶色の縞
低真空圧力
解決方法:アルミニウム供給装置、蒸着装置、冷却装置、巻き戻しおよび巻き取り装置、および真空チャンバ内のガイドローラを清掃します。 真空システムを確認し、周囲の湿度を下げてください。
ガスを放出するフィルム
解決策:フィルムの予備乾燥と真空排気時間の延長。
アルミニウムスプレーが多すぎます
解決策:速度を上げ、 蒸発ボートの電流を減らし、アルミニウムの供給速度を下げます。
蒸発ボートに不純物が含まれている
解決策:蒸発ボートと熱シールドを清掃します。
蒸発ボートは老化しています
解決方法:蒸発ボートを交換します。
2.アルミニウムめっきの際に穴があります。
蒸発ボートには多すぎるアルミニウム材料があります
解決策:アルミニウムの供給速度を低下させます。 蒸発ボートの電流を増加させます。
真空チャンバ内の蒸発ボート間の短絡
解決策:短絡をブロックする
真空チャンバ内の不純物の飛散
解決方法:真空チャンバ壁、アルミニウム蒸着装置、冷却ドラム、巻き戻し装置、巻き取り装置および各ガイドローラを清掃します。
3.アルミニウムめっき時の伸び現象
基材の張力が高すぎる
解決策:巻き戻しおよび巻取り張力制御システムを調整し、張力を適切に下げます。
冷却システムが誤動作しています
解決策:冷却システムをチェックし、トラブルシューティングを行います。