コンビナトリアルスパッタ成膜装置

- Sep 12, 2018-

システムには、1.5インチまたは2インチの直径のターゲットを備えたマグネトロンスパッタソース、RFおよびDC機能を備えた1システムあたり最大4つのソースが含まれます。 異なるガス、電源供給パッケージ、単一または複数のウェハロードロックなどのためのMFCのような多種多様なオプションを提供することができる。 マグネトロンはZステージに搭載することができ、広範囲の分解能と分解能を提供します。

テストパッドのサイズは、約4mm四方から25mm四方以上の範囲であり、ユーザの要求に合わせて調整される。 使いやすいソフトウェアを使用して、フィールド内のテストパッドのサイズとステップアンドリピートの距離を変更することは非常に簡単です。

機能とコンポーネント

コンビナトリアルスパッタシステムは、新しい材料の成長のための広い範囲の能力をユーザに提供する。 このような機器は、特定のアプリケーションに必要な適切な構成を顧客が迅速に判断し、膨大な時間とコストをかけて数百のユニークな構成を一度に1つずつテストします。

システムには、配電ボックス、電源、MFC、ウェーハフローインターロックスイッチ、空気圧バルブなどのすべての必要なコンポーネントと、定圧制御用の閉ループフィードバック、各種ポンピングパッケージ、フル機能のソフトウェアなどが完備されています。各マシン顧客の特定の要件に合わせて個別に調整することができます。

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