真空PVDコーティングプロセスの基本ステップ

- Apr 11, 2018-


前処理プロセス

デコート、ブラスト、研磨、パッシベーション、クリーニング、クランプ


コーティングプロセス

排気、加熱、リークレート試験、ボンバードメントクリーニング、コーティング、冷却


後処理


1.クリーニング:塗装前の製品の表面がきれいで、表面がクリーナーであることを確認し、塗装の品質を保証します。

2.排気:真空チャンバーから残留ガスを排気する。

3.加熱:炉と被加工物を同時に加熱して残留ガスの放出を促進する。

4.電圧上昇率試験:試験炉のガス漏れ率及びガス放出率。

5.ボンバードクリーニング:ワークの表面から不純物を除去して、清浄な表面を露出させます。

6.コーティング:堆積膜。

7.冷却:ワークの酸化、変色を避けてください。


なぜそれを冷却するのですか?


コーティングプロセスが完了した後、真空チャンバの温度は最高500℃になります。 冷却せずに排気すると、メッキされていない高温ワークピースの表面は、空気との反応のために青色になります。


どのように冷却する?


1.高圧バルブと真空ゲージを閉じ、真空チャンバをポンプグループから分離する。


オペレータがN 2ベントボタンを押すと、予め接続された窒素がN 2膨張バルブを介して真空チャンバに充填され、真空チャンバ内の圧力が圧力スイッチの設定圧力に達すると、N 2 膨張弁が閉じられる。


真空チャンバは大量のN 2で満たされ、真空度は非常に低く、これは熱伝導に一層寄与する。 冷却時間を短縮し、生産効率を上げることができ、実際の冷却時間を90分から60分に短縮することができます。


4.ヘリウムは熱伝導率が高いため、ヘリウムの冷却は窒素よりも速いが、コストが高い。


5.海外機器の急速冷却プログラムは、ガスの冷却サイクルを冷却して冷却時間を50%短縮することができます。


圧力上昇試験の理由


真空環境は、最終的なコーティング品質に影響を与える最も重要な要素である。 コーティングの前に、真空環境条件がコーティング標準を確実に満たすように圧力上昇率を実施しなければならない。