PVDプロセス1.1

- Jul 19, 2018-

まず、被塗装部を洗浄する。 洗浄プロセスは、電気めっき装置、基板材料およびジオメトリからの品質のレベルによって異なる。 部品は、チャンバの負荷の大きさを最適化し、コーティングの均一性を保証するように設計されたカスタム固定具で真空チャンバにロードされます。

真空チャンバーを10 -6 torr(高真空)まで排気して、系内の汚染物質を除去する。 真空チャンバはアルゴン不活性ガスで再充填され、イオン化され、グロー放電(プラズマ)を生じる。 これはガスクリーニング段階であり、最初の金属析出のための部品を準備する。