超低温蒸着装置

ローディングシステム：

コーティングされる材料は、「衛星」とも呼ばれるピースホルダーに固定され、これらは、「遊星システム」とも呼ばれるロード/アンロードシステムに固定されます。

コーティングプロセスの間、衛星は蒸発源の周りを回転し、それ自身の軸上で複雑な表面でさえもPVDする
一様に; 完全に均一でコンパクトなコーティングに必要な理想的な条件を保証します。

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