ZY-PVD1012GJマルチアークイオン超硬質皮膜コーティング機
機器の概要
ZY - PVD1012GJマルチアークイオンコーティング機は、スーパーハードフィルムイオンめっきフィルムマシンで、自己開発した
IKS、ユニークな新しいフィルタアークソースコーティング技術、プラズマ強化アノードアシストコーティングを採用
炉内のプラズマの経路と分布を計画し、ターゲットのイオン化率
材料が強化され、ターゲットの表面が均一にエッチングされるように、コーティング表面は滑らかであり、
コーティングの結合力を最適化しながら、コーティングの厚さおよび均一性を確実にする。 また、
新しい技術の適用は、コーティングの効率を改善し、エネルギーおよび操作コストを節約する。
l 特徴
真空室と処理室の内部に真空シールを設計し、500 ℃ の高温を保ち、高真空性能を発揮する ことができ ます。
2.コーティングされたフィルム層は、フィルムベースのより高い結合強度、より滑らかなコーティング表面およびより良好な靱性を有する。
3.採用自動制御システムは、プロセスの安定性と再現性が大幅に向上しています。
真空室サイズ八面体1000XH1200は、取り外し可能な下部ターンテーブルとターンテーブルリフターの2つのセットを備え、操作が簡単で、高速炉バッチスイッチを実現し、高い生産効率が保証されています。
l 機器パラメータ
チャンバーサイズ | BM1000XH1200 | 有効なスペース | Ф700XH800 |
応用技術 | IET + ARC | 対象品目の数量 | 8枚100mm |
標準コーティング | TiN、CrN、TiCN、AlTiN等が挙げられる。 | その他の複合コーティング | TiAlCrN、TiSiN、TiCrN、DLD等が挙げられる。 |
生産サイクル | 約3時間/炉 | 全体的な減少 | L2400XW2400XH2400mm |
アプリケーションの範囲 | スティックフライスカッター、マイクロドリル、カッターグレイン等に適用 | ||
l コーティング製品
