真空室:
材質:SUS304
内腔のサイズ:Φ1900 * 1300 mm
冷却方法:外壁水冷
観察窓:炉の扉は2つの観察窓が装備されています
溶接要件:内部および外部プロファイル溶接。
スパッタリングターゲット位置:外側のリングに5対のターゲット、内側のリングに5対のターゲット
アークターゲットの位置:両側に5〜5、合計10個のターゲット
KF設定の言い訳:予約4の通常の使用を満たすために
表面処理:内壁と外壁は完全に磨かれています。
ポンプシステム:
磁気浮上ターボ分子ポンプ
メカニカルポンプ
ルーツポンプ
高真空ゲートバルブ
応用:
機械詳細は、親切にダウンロードしてください。