真空室：
材質：SUS304
内腔のサイズ：Φ1900 * 1300 mm
冷却方法：外壁水冷
観察窓：炉の扉は2つの観察窓が装備されています
溶接要件：内部および外部プロファイル溶接。
スパッタリングターゲット位置：外側のリングに5対のターゲット、内側のリングに5対のターゲット
アークターゲットの位置：両側に5〜5、合計10個のターゲット
KF設定の言い訳：予約4の通常の使用を満たすために
表面処理：内壁と外壁は完全に磨かれています。
ポンプシステム：
磁気浮上ターボ分子ポンプ
メカニカルポンプ
ルーツポンプ
高真空ゲートバルブ
応用：
機械詳細は、親切にダウンロードしてください。