Nd-Fe-B(ネオジム鉄ボロン)セラミックコーティング生産ライン

Nd-Fe-B(ネオジム鉄ボロン)セラミックコーティング生産ライン

NdFeB(ネオジム鉄ボロン)セラミックチップ表面メタライゼーションコーティング生産ライン、マグネトロンスパッタリングプロセスを採用し、NdFeBセラミックチップ表面にテルビウム(Tb)金属フィルムまたはジスプロシウム(Dy)金属フィルムを堆積し、拡散処理によるマグネトロンセラミックの性能を改善する。
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制品の詳細











技術パラメータ

1. 有効設置スペース W7000XL23000XH1500mm

7.スパッタリング:DCマグネトロンスパッタリング

真空チャンバー W1650XL16400XH500mm

8.蒸着速度: 1回あたり 2.5 µm 未満 、0.5 nm精度

3.ローディングフレーム:W1050XL1050

9.Design:真空室とプロセスのモジュール化設計

ターゲット材料:双子ターゲットW110XL1050mm、または双子ターゲット Ф110XL1050mm

10.プロセス:流量計とバルブ制御プロセスガス

5.ワークピース:セラミックチップ、厚さは2〜15mm

11.電源:380V 50Hz

6.バキュームレンジ:ATM-6X10 -4 Pa

12. 外部フランジ:KF16とKF25

真空システム:ロータリーポンプ、ルーツポンプ、分子ポンプ

ネオジムNdFeB磁石


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