真空室：
真空チャンバー片面ドア構造
チャンバーサイズ：φ1900mm×H1300mm
真空チャンバー表面処理： 内壁と外壁は完全に研磨されています
真空チャンバー材質： SUS304ステンレス
装置全体は分割フレーム、 外装用の焼き付け塗料を 採用してい ます。
技術仕様（無負荷、コールド、クリーン）
最大到達圧力：6E-4Pa以上
排気速度：Atm-6E-3Pa 排気時間は20分以内
昇圧率：＜0.5Pa /時
最高使用温度 ： 装置最高温度 300℃
成膜温度は約100℃です
標準コーティングフィルム
IPブラック、ローズゴールド、IPゴールド、サファイア、シャンペーンゴールド、クールシルバー、コーヒー、レインボー、ガンブラック、ジルコニウムゴールド、ロージーなど
応用：
