ZY-PVD1413ZS ZY-PVD1613ZS ZY-PVD1913ZSマグネトロンスパッタリング装置
l 特徴
1.緑の環境保護、無公害。
2.大きなサイズの真空チャンバー、大規模な 生産能力、 高い 生産 効率 、費用対効果の高い インストールされてい ます。
3. 自動制御システム、簡単な操作、安定したパフォーマンス。
4.フィルム層は滑らかで緻密で光沢があります。
5 。 フィルムの均一性と再現性は非常に良好です。
l 機器の概要
ZY-PVD1913ZSマグネトロンスパッタリングコーティング機は、高品質の真空コーティング装置であり、装飾用製品の塗膜に特化した用途です。 これは、陰極アークイオンコーティング、マグネトロンスパッタリング、パルスバイアス技術などの高度な技術を統合したものです。中周波スパッタ電源と中周波マグネトロン円筒ターゲットを採用し、 ターゲット材料のスパッタレートと薄膜の成膜レートを大幅に高めながら、フィルム層の均一性及び接着性も大幅に改善される。 一方、ZY - PVD1913ZSは、産業用PC、プロフェッショナル産業用制御ソフトウェアの自動制御システム、シンプルで迅速な操作、安定した信頼性の高いパフォーマンスを新しく開発しました。 ハードウェアインターワーキング、インテリジェントな監視 、 オンラインステータスメモリ 、 ブレークポイント保護 など のソフトウェアのインターロックを使用して設計されてい ます 。さまざまなハードウェア保護デバイスと組み合わせることで、機器を安全かつ信頼性の高いものにします。
l 機器パラメータ
チャンバーサイズ | Ф1900×H1300 | 有効なスペース | Ф1600×H1000 |
ワークピース最大-Dおよび数量 | Ф175×20 | 標準構成 | アークソース10個/ MF円筒ターゲット6ペア |
応用技術 | MF + ARC +円柱ARC +平面ターゲット（オプション） | 対象品目の数量 | アークターゲット10個/シリンダーターゲット12個 |
標準コーティングフィルムの色 | IPブラック、ローズゴールド、IPゴールド、サファイア、シャンペンゴールド、クールシルバー、コーヒー、レインボー、ガンブラック、ジルコニウムゴールド、ロージーなど | 電源 | DCスタックパルスバイアス電源、中周波マグネトロンスパッタリング電源、特殊真空アーク電源 |
生産サイクル | 1.5~3.5時間/炉 | 全体的な減少 | L3600XW3200XH2600mm |
アプリケーションの範囲 | ジュエリー、携帯電話、腕時計、ハードウェア、衛生、ゴルフ器具、食器など | ||
l コーティング製品
