高真空質量流量計

制品の詳細

仕様

流れの範囲	（20,30,50,100,200,300,500）SCCM （0〜1,2,3,5,10）SLM
正確さ	±1.5％FS
直線性	±1％FS
繰り返し性	±0.2％FS
反応時間	≤4秒
温度係数	ゼロ：≦±0.1％FS /℃;スパン：≦±0.2％FS /℃
最大圧力	3MPa
動作温度	5℃〜45℃
シーリング材	バイトン、ネオプレン
設定/出力信号	0V〜+ 5.00V （入力インピーダンス> 100K、出力電流≦3mA）
電源	+ 15V 50mA -15V 50mA
電気接続	Dサブ15ピンメス
差圧	0.01 MPa
漏れ率	1×10-8atm・cc / secHe（1×10-9Pa・m3 / secHe）
標準ジョイント	SwagelokΦ8、SwagelokΦ6、SwagelokΦ3、Swagelok1 / 8 "、φ4（インナー）×1ホースカプラー、VCR1 / 4"、Swagelok1 / 4 "、φ6（インナー）×1ホースカプラー
メディア	すべてのガス
エミ	CE
重量	0.92kg

前書き

マスフローメーター（MFC）は、フローセンサー、フロースプリッターバイパス、プリント基板の3つの基本デバイスで構成されています。温度変化によってガス流量が変動するのを正確に測定します。 MFCは、半導体やICの製造、特殊材料科学、化学工業、石油産業、製薬産業、環境保護、真空システムの研究などに幅広く応用されています。

特徴

◆ 高精度、長寿命、優れた再現性

◆クイックレスポンス、ソフトスタート、良好な信頼性

◆広い操作圧力範囲（高圧または真空状態で良好な操作）

◆簡単で便利な操作

◆自動制御を実現するために必要な場所に設置し、コンピュータに接続することができます。

典型的なアプリケーション

MFCの典型的な用途は、拡散、酸化、エピタキシー、CVD、プラズマ、エッチング、スパッタリング、イオン注入などのマイクロエレクトロニクスプロセス装置、真空堆積装置、光ファイバー溶融、マイクロ反応装置、混合及びマッチングガスシステム、キャピラリーフローコントロールシステム、ガスクロマトグラフ、その他の分析機器。

設置寸法