仕様
流れの範囲 | （20,30,50,100,200,300,500）SCCM （0〜1,2,3,5,10）SLM |
正確さ | ±1.5％FS |
直線性 | ±1％FS |
繰り返し性 | ±0.2％FS |
反応時間 | ≤4秒 |
温度係数 | ゼロ：≦±0.1％FS /℃;スパン：≦±0.2％FS /℃ |
最大圧力 | 3MPa |
動作温度 | 5℃〜45℃ |
シーリング材 | バイトン、ネオプレン |
設定/出力信号 | 0V〜+ 5.00V （入力インピーダンス> 100K、出力電流≦3mA） |
電源 | + 15V 50mA -15V 50mA |
電気接続 | Dサブ15ピンメス |
差圧 | 0.01 MPa |
漏れ率 | 1×10-8atm・cc / secHe（1×10-9Pa・m3 / secHe） |
標準ジョイント | SwagelokΦ8、SwagelokΦ6、SwagelokΦ3、Swagelok1 / 8 "、φ4（インナー）×1ホースカプラー、VCR1 / 4"、Swagelok1 / 4 "、φ6（インナー）×1ホースカプラー |
メディア | すべてのガス |
エミ | CE |
重量 | 0.92kg |
前書き
マスフローメーター（MFC）は、フローセンサー、フロースプリッターバイパス、プリント基板の3つの基本デバイスで構成されています。温度変化によってガス流量が変動するのを正確に測定します。 MFCは、半導体やICの製造、特殊材料科学、化学工業、石油産業、製薬産業、環境保護、真空システムの研究などに幅広く応用されています。
特徴
◆ 高精度、長寿命、優れた再現性
◆クイックレスポンス、ソフトスタート、良好な信頼性
◆広い操作圧力範囲（高圧または真空状態で良好な操作）
◆簡単で便利な操作
◆自動制御を実現するために必要な場所に設置し、コンピュータに接続することができます。
典型的なアプリケーション
MFCの典型的な用途は、拡散、酸化、エピタキシー、CVD、プラズマ、エッチング、スパッタリング、イオン注入などのマイクロエレクトロニクスプロセス装置、真空堆積装置、光ファイバー溶融、マイクロ反応装置、混合及びマッチングガスシステム、キャピラリーフローコントロールシステム、ガスクロマトグラフ、その他の分析機器。
設置寸法
パッキング： 1.木製ボックス
2.カートン
3.あなたの要求として
お支払い： T / T、L / Cなど
配達時間： 通常、支払い後10〜15日
配送： 航空または海上で