高真空質量流量計

高真空質量流量計

はじめにマスフローメーター(MFC)は、フローセンサー、フロースプリッターバイパス、プリント基板の3つの基本デバイスで構成されています。温度変化によってガス流量が変動するのを正確に測定します。 MFCは、半導体およびICの分野で広く適用されています...
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制品の詳細


仕様



流れの範囲

(20,30,50,100,200,300,500)SCCM

(0〜1,2,3,5,10)SLM

正確さ

±1.5%FS

直線性

±1%FS

繰り返し性

±0.2%FS

反応時間

≤4秒

温度係数

ゼロ:≦±0.1%FS /℃;スパン:≦±0.2%FS /℃

最大圧力

3MPa

動作温度

5℃〜45℃

シーリング材

バイトン、ネオプレン

設定/出力信号

0V〜+ 5.00V

(入力インピーダンス> 100K、出力電流≦3mA)

電源

+ 15V 50mA

-15V 50mA

電気接続

Dサブ15ピンメス

差圧

0.01 MPa

漏れ率

1×10-8atm・cc / secHe(1×10-9Pa・m3 / secHe)

標準ジョイント

SwagelokΦ8、SwagelokΦ6、SwagelokΦ3、Swagelok1 / 8 "、φ4(インナー)×1ホースカプラー、VCR1 / 4"、Swagelok1 / 4 "、φ6(インナー)×1ホースカプラー

メディア

すべてのガス

エミ

CE

重量

0.92kg



前書き


マスフローメーター(MFC)は、フローセンサー、フロースプリッターバイパス、プリント基板の3つの基本デバイスで構成されています。温度変化によってガス流量が変動するのを正確に測定します。 MFCは、半導体やICの製造、特殊材料科学、化学工業、石油産業、製薬産業、環境保護、真空システムの研究などに幅広く応用されています。



特徴


高精度、長寿命、優れた再現性

クイックレスポンス、ソフトスタート、良好な信頼性

広い操作圧力範囲(高圧または真空状態で良好な操作)

簡単で便利な操作

自動制御を実現するために必要な場所に設置し、コンピュータに接続することができます。

 


典型的なアプリケーション


MFCの典型的な用途は、拡散、酸化、エピタキシー、CVD、プラズマ、エッチング、スパッタリング、イオン注入などのマイクロエレクトロニクスプロセス装置、真空堆積装置、光ファイバー溶融、マイクロ反応装置、混合及びマッチングガスシステム、キャピラリーフローコントロールシステム、ガスクロマトグラフ、その他の分析機器。



設置寸法


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パッキング: 1.木製ボックス

2.カートン

3.あなたの要求として


お支払い: T / T、L / Cなど


配達時間: 通常、支払い後10〜15日


配送: 航空または海上で


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引き合い

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