チャンバーサイズ | φ1900×H1300 | 有効スペース | φ1600×H1000 |
到達圧力 | 5.0×10 -4 Pa | リークレート | <> -3 Pa.L / s |
標準コーティング | IPブラック、ローズゴールド、IPゴールド サファイアブルー、シャンパンゴールド、 シルバー、ブラウン、カラフル、ガン 黒、ジルコニウム、ローズレッドなど | 標準構成 | 10 陰極アーク/ 12 MF円筒ターゲット |
電圧/ Hz | 380V / 50Hz | 実力 | 120KW |
技術 | MF + ARC（オプション） | 目標数量 | 12円筒ターゲット / 10 アークターゲット |
電源 | MFマグネトロンスパッタリングパワー 供給 DCパルスバイアス電源 特殊真空アーク電源 | 真空システム | 分子ポンプ ルーツポンプ ロータリーベーンポンプ |
コーティングサイクル | 1.5〜3.5時間/炉 | 職業スペース | L3600×W3200×H2600mm |
応用：
