コンパクトで価格競争力のある大容量PVD装置

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制品の詳細

前書き

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ZY - 0805中空陰極マルチアークコーティングマシンは、中空陰極技術とマルチアークイオンプレーティング技術を統合し、最新のセラミック陰極電子銃と自己開発の小さなアークソースを備えています。 機械はボタンで短距離制御が可能で、PLCとコンピュータを介して遠隔制御することもできます。 ZY-0805は、中空陰極とアークイオンプレーティングの両方の機能を備えているため、アークソースコーティングプロセス中に電子銃をオンにして、マルチアークイオンプレーティングによって生成された大きな粒子を精錬することができます。

 

ZY - 0805中空陰極マルチアークコーティングマシンは、金型、機械部品や他の製品の表面寿命を延ばすために表面強化のために広く使用することができます。 また、大学、研究所、研究機関での教育や科学研究に特に適しています。

 


特徴


◆中空カソードイオンプレーティングは、プラズマ濃度が高く、イオン化率が高いため、付着膜の密着性、微細構造、明るい色が特徴です。

◆コンパクトな構造、多様な性能、簡単な操作、低消費電力。

◆フレキシブルな操作で、さまざまな実験条件に合わせて手動、半自動または全自動でシステムを制御できます。



仕様


真空室

φ800xH500

効果的なコーティングスペース

φ450xH350

ワークピースの最大直径×Q

φ150x8PCS          

スパッタリングカソード

1HCD + 4ARC       

電圧/ Hz

380V 50Hz

実際のパワー

30KW            

技術

HCD + ARC

ターゲット

4PCS

究極の圧力

5×10 -4 Pa

漏れ率

0.5Pa / h



機能性コーティングの文字


コーティング材料

コーティングカラー

マイクロ硬度

(HV 0.05)

摩擦係数

厚さ

(um)

最高使用温度℃

構造

特徴

ゴールド

2400

0.40

1-4

500

モノレイヤー

優れた硬度と癒着防止

CrN

シルバーグレー

2000年

0.40

1-4

700

モノレイヤー

優れた腐食防止と癒着防止

TiCN

ブルーグレー

3000

0.20

1-4

400

勾配複合膜

低摩擦係数と優れた硬度

TiAIN

茄子

3500

0.40

1-4

850

単層複合膜

優れた硬度と抗酸化

AITiN

パープルブラック

3800

0.45

1-4

900

多層複合膜

優れた超硬度および抗酸化

コーティング製品


引き合い