連続式蒸発塗装機

連続式蒸発塗装機

装置応用、大面積連続電子銃蒸着光電フィルム、光学フィルム及び耐指紋フィルム。 IKS-OPT2050連続蒸発塗装機は、大面積の光学フィルムコーティングと単層表面改質フィルムの大量生産を実現するように設計されており、連続入力マルチチャンバーコーティング機です。コーティングシステムです。ダブル電子銃は多層光学フィルムに材料コーティングを蒸発させる。 この装置の主な製品は、可視光カラーフィルム、アルミミラーフィルム、AFアンチフィンガープリントフィルム、低融点有機フィルム、可視光フィルムなどの蒸着フィルム多層光学誘電フィルム、耐指紋フィルムなどです光スプリットライトフィルム、可視光反射防止フィルムなど、それはまた、特定の単純な光学フィルムの生産のための生産をデバッグすることができます。
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制品の詳細

l   連続式蒸発塗装機 IKS-OPT2050縦型

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生産ライン設計


・大量・高品質・高速生産を実現するため、連続塗装機には、マルチホール電子銃1台と、蒸発機への連続供給を1台で連続して行います。

・連続塗装機は、独立したワークピースラックの入口と出口のチャンバー設計、独立したゲートバルブによる真空隔離、搬送システム連続自動排出トレイシステム、制御システム自動回転を採用し、コーティングを仕上げました。

・予備コーティングと真空コーティングプロセスを分離し、作業サイクルを向上させ、ワークピースラックの入口と出口のプロセスの安定性と環境清浄性を確実にするために、独立したワークピースラックの入口と出口のチャンバとコーティングチャンバを備えています。出口。

技術特性:

1.操作:自動/半自動、操作しやすい

ワークピースラックの連続インレットのビート:間隔が2分未満

3.蒸発源:マルチホール電子銃蒸発システムの1セット

4.蒸発源:1セットの連続供給抵抗性蒸発システム

5.フィルムコーティング:様々なカラー光学フィルムとアンチフィンガープリントフィルム

6.精度コントロール:INFICON XTC3 / S

7.真空:分子ポンプ+ルーツポンプ+ロータリーポンプ

8.冷却:超低温コンデンサーコネクター3個

9.コーティングフィルム:多層光学誘電体フィルム、アンチフィンガープリントフィルム

10.イオン源:ホール源、電力4KW

11.加熱:シース加熱管を加熱に採用

12.ワークピースラック:連続入力ワークピース回転ラック

13.プロセス制御:制御パラメータを生成するためにTFCフィルムシステム設計ソフトを採用し、次にPLC実行制御

技術的パラメータ:


1.効果的な設置スペース W8500XL4500XH3400mm

8.堆積速度:XTC3 / S、0.5nm精密度

2.真空チャンバー W2050XL2050XH1800mm

9.ワークピースラックの入口と出口のチャンバー:加熱、洗浄、前処理、後処理モジュールを取り付けることができます

3.装填 Ф1900XH50mmステンレス製傘立て

10.真空:プロセスゲージを制御する流量計とニードルバルブ

ターゲット材質:マルチホール電子銃1セット、銅冷却水

11.電源:220V 50HZ

5.蒸発:1セットの連続供給蒸発システム

12.外部フランジ:KF16とKF25

6.真空ラン:ATM-6×10 -4 Pa

13.真空システム:ロータリーポンプ、ルーツポンプおよび分子ポンプ

7.イオン源:ホールイオン源、4KW


機器の構造はじめに:


装置は、真空チャンバ、真空ポンプグループ、ローディングラック操作、コーティングプロセス、前処理およびプロセスガス制御システムからなる。

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(1)ボックスタイプの真空チャンバーで、サイズはW2110XL2110XH450mmです。ウェルド・フォーミングを補強するSUS304ステンレス鋼板(厚さ30mm)を採用しています。 アニーリングによるストレス緩和。 上部に設計されたアクセスドア。 処理要件によれば、チャンバは、加熱、プラズマなどの前処理を行うことができる。 空気はゲートバルブ(W2100XH1500mm)で処理チャンバーに接続します。真空システムはFF250 / 2000分子ポンプ4セット、BSV90,1セットZJP600セット1セット、2X-70セット2セット、排気用1セット低温コールドトラップあり選択する。

(2)W2050XL2050XH1800mmスクエア真空チャンバー(外壁冷却水冷却)。分子ポンプ排気を接続するための高性能バルブ。 ポンプシステムは、8セットのFF250 / 2000分子ポンプ、1セットのZJP300および1セットの2X-70で構成されています。チャンバーの2つの側面は、ゲートバルブによってワークピースの入口および出口ラックチャンバーと接続します。 フロントドア、SUS304ステンレススチール、2つの検査窓にアクセスドアを取り付けます。 チャンバーの内壁には、2層ミラーボードと防汚ボードが取り付けられています。 トップインストールされた磁気流体輸入転送システム、自己回転システム、4つのセクターフェイスシース加熱システムと均一な調整ボード。 1セット8ホール銅坩堝電子銃蒸着システム、1セット自動給電銅電極抵抗蒸発システム、1セットホールイオン源補助蒸着システム、1セットXTC3Sコーティング膜厚厚制御システム、2セット調整可能な均一調整プレート。 チャンバーの側面は、均一な吸気システムを設計しており、チャンバーを接続する混合ガスタンクを介して2つの方法で流量ゲージを、流量制御によってコーティングの真空度を調整します。

(3)XTC3 / Sによるフィルム層厚さの堆積を制御するために、多層膜システムを設計し、制御パラメータを生成し、PLCを介してフィルムシステム設計ソフトを採用する。

機器アプリケーション:

     大面積連続電子銃蒸発光電フィルム 光学フィルムおよび指紋防止フィルム。 IKS-OPT2050連続蒸発塗装機は、 大面積の光学フィルムコーティングと単層表面改質フィルムの大量生産を実現するように設計されており、連続入力マルチチャンバーコーティング機です。コーティングシステムです。ダブル電子銃は多層光学フィルムに材料コーティングを蒸発させる。 この装置の主な製品は 、可視光カラーフィルム、アルミミラーフィルム、AFアンチフィンガープリントフィルム、低融点有機フィルム、可視光フィルムなどの蒸着フィルム多層光学誘電フィルム、耐指紋フィルムなどです光スプリットライトフィルム、可視光反射防止フィルムなど、それはまた、特定の単純な光学フィルムの生産のための生産をデバッグすることができます。







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